[發(fā)明專(zhuān)利]一種探針卡清針?lè)椒扒遽樝到y(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510369466.3
• 申請(qǐng)日: 2015-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104931543A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈茜;婁曉祺
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01N27/04
• 分類(lèi)號(hào): G01N27/04;B08B13/00
• 代理公司: 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31275
• 代理人: 吳世華;陳慧弘

1.一種探針卡清針?lè)椒ǎ涮卣髟谟冢ㄒ韵虏襟E：

步驟S01、獲取探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)；

步驟S02、預(yù)設(shè)探針卡上的探針接觸電阻的標(biāo)準(zhǔn)閾值；

步驟S03、將所述探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)與所述標(biāo)準(zhǔn)閾值進(jìn)行對(duì)比；若所述探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)在標(biāo)準(zhǔn)閾值范圍內(nèi)，則繼續(xù)測(cè)試，若所述探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)閾值范圍，則對(duì)所述探針卡的探針進(jìn)行清針。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡清針?lè)椒ǎ涮卣髟谟冢鎏结樋ㄉ系奶结樈佑|電阻的標(biāo)準(zhǔn)閾值為-0.3ohM～0.3ohM。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡清針?lè)椒ǎ涮卣髟谟冢襟ES03中，若所述探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)閾值范圍，則對(duì)所述探針卡的探針進(jìn)行清針并發(fā)出警報(bào)。

4.一種探針卡清針系統(tǒng)，其特征在于，包括：

設(shè)定存儲(chǔ)模塊，用于預(yù)設(shè)探針卡的每根探針的接觸電阻的標(biāo)準(zhǔn)閾值；

信息采集模塊，用于獲取所述探針卡每根探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)；

處理模塊，用于將所述探針卡上的探針接觸電阻的測(cè)試參數(shù)與所述標(biāo)準(zhǔn)閾值進(jìn)行對(duì)比并進(jìn)行分析處理；

清針裝置，用于對(duì)所述探針卡上的探針進(jìn)行清理。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡清針系統(tǒng)，其特征在于，所述設(shè)定存儲(chǔ)模塊設(shè)定的探針卡上的探針接觸電阻的標(biāo)準(zhǔn)閾值為-0.3ohM～0.3ohM。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的探針卡清針系統(tǒng)，其特征在于，所述處理模塊對(duì)所述探針卡每根探針的接觸電阻的測(cè)試參數(shù)與-0.3ohM～0.3ohM進(jìn)行比對(duì)。