[發(fā)明專利]薄膜晶體管及其制作方法、陣列基板、顯示面板及裝置

有效

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• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN105098074B
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李鴻鵬
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L51/00
• 分類號: H01L51/00;H01L51/05
• 代理公司: 北京風(fēng)雅頌專利代理有限公司 11403
• 代理人: 王安娜;李翔

本發(fā)明提供了一種薄膜晶體管及其制作方法、陣列基板、顯示面板及裝置，該方法包括在親水的結(jié)構(gòu)層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層的步驟；其中，所述在親水的結(jié)構(gòu)層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層的步驟，包括：在所述親水的結(jié)構(gòu)層的上表面形成親油材料層；對所述親油材料層進(jìn)行圖案化，去除待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域之外的親油材料，保留位于所述待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域的親油材料得到親油層；采用親油的有機(jī)材料利用濕法工藝在所述親油層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層。本發(fā)明提供的薄膜晶體管的制作方法，能夠較為簡單的實(shí)現(xiàn)薄膜晶體管的濕法制備。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種薄膜晶體管及其制作方法、陣列基板、顯示面板及裝置。

背景技術(shù)

隨著顯示器制造技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示器技術(shù)發(fā)展迅速，己經(jīng)取代了傳統(tǒng)的顯像管顯示器而成為未來平板顯示器的主流。在液晶顯示器技術(shù)領(lǐng)域中，薄膜晶體管液晶顯示器TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)以其大尺寸、高度集成、功能強(qiáng)大、工藝靈活、低成本等優(yōu)勢而廣泛應(yīng)用于電視機(jī)、電腦等領(lǐng)域。

有機(jī)薄膜晶體管是指半導(dǎo)體層由有機(jī)材料制成的晶體管。相比于傳統(tǒng)的薄膜晶體管，有機(jī)薄膜晶體管的制作成本更低，具有更廣泛的應(yīng)用價值。但是有機(jī)薄膜晶體管的有機(jī)材料很難通過大面積的濕法工藝形成在承載有機(jī)材料的膜層(一般為親水的結(jié)構(gòu)層)上，限制了有機(jī)薄膜晶體管技術(shù)的推廣。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的一個目的在于解決上述技術(shù)問題。

第一方面，本發(fā)明提供了一種薄膜晶體管的制作方法，包括在親水的結(jié)構(gòu)層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層的步驟；所述在親水的結(jié)構(gòu)層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層的步驟，包括：

在所述親水的結(jié)構(gòu)層的上表面形成親油材料層；

對所述親油材料層進(jìn)行圖案化，去除待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域之外的親油材料，保留位于所述待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域的親油材料得到親油層；

采用親油的有機(jī)材料利用濕法工藝在所述親油層上形成有機(jī)半導(dǎo)體層。

進(jìn)一步的，所述親水的結(jié)構(gòu)層為柵絕緣層。

進(jìn)一步的，所述親油材料層的材料為六甲基二硅胺烷。

進(jìn)一步的，對所述親油材料層進(jìn)行圖案化，去除待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域之外的親油材料，保留位于所述待形成有機(jī)半導(dǎo)體層的區(qū)域的親油材料得到親油層，具體包括：

在所述親油材料層上涂覆光刻膠，并對所述光刻膠進(jìn)行曝光顯影形成光刻膠保留區(qū)域和光刻膠去除區(qū)域；

去除光刻膠保留區(qū)域的部分光刻膠，并去除光刻膠去除區(qū)域的親油材料；

剝離光刻膠保留區(qū)域剩余部分的光刻膠，得到親油層。

進(jìn)一步的，去除光刻膠保留區(qū)域的部分光刻膠，并去除光刻膠去除區(qū)域的親油材料之后，剝離光刻膠保留區(qū)域的部分光刻膠，得到親油層之前，所述方法還包括：

對去除了親油材料的區(qū)域的親水的結(jié)構(gòu)層的上表面進(jìn)行親水處理，以提高該區(qū)域的親水的結(jié)構(gòu)層的上表面的親水性。

進(jìn)一步的，所述對去除了親油材料的區(qū)域的親水的結(jié)構(gòu)層的上表面進(jìn)行親水處理包括：

采用表面處理劑對去除了親油材料的區(qū)域的親水的結(jié)構(gòu)層的上表面進(jìn)行清洗；或者

采用離子轟擊法對去除了親油材料的區(qū)域的親水的結(jié)構(gòu)層的上表面進(jìn)行轟擊。

進(jìn)一步的，所述表面處理劑為苯甲酸或者重氮鹽。

進(jìn)一步的，所述親油的有機(jī)材料為6，13-雙(三異丙基硅烷基乙炔基)并五苯。