[發明專利]氟化石墨烯泡沫的制備方法在審
| 申請號： | 201510361794.9 | 申請日： | 2015-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN104925777A | 公開（公告）日： | 2015-09-23 |
| 發明（設計）人： | 徐楊;陸薇;孟楠;萬霞;程呈;阿亞茲;郭宏偉;周翰銘;王雪;施添錦;王鋒;馬玲玲;劉雪梅;李煒;劉威 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | C01B31/00 | 分類號： | C01B31/00 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 韓介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氟化 石墨 泡沫 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.?一種氟化石墨烯泡沫的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
1）將石墨烯泡沫樣品放入深反應刻蝕機的送樣室內，將送樣室氣壓抽至10-3Torr以下，將石墨烯泡沫樣品送入反應腔；
2）將反應腔內氣壓抽至10-6Torr以下，通入SF6氣體，流量為100sccm；
3）對SF6進行等離子體激發，在電離功率為25W~300W條件下反應30s~20min；取出樣品，獲得氟化石墨烯泡沫。
2.?根據權利要求1所述的氟化石墨烯泡沫的制備方法，其特征在于所述的石墨泡沫可以為任意形狀。
3.?根據權利要求1所述的氟化石墨烯泡沫的制備方法，其特征在于所述的石墨烯泡沫樣品，其襯底為不與SFx反應的材料，x=1-6。
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