[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于離線(xiàn)真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)和基板傳送方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510355093.4
• 申請(qǐng)日: 2015-06-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105097633A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石旭;徐志龍;劉軍;王小軍;李冬青;黃書(shū)同;陳偉;張磊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 郝瑞剛

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示器設(shè)計(jì)制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于離線(xiàn)真空吸附玻璃基板的承載機(jī)構(gòu)和基板傳送方法。

背景技術(shù)

目前，如圖1所示，在液晶顯示器制造過(guò)程中需要對(duì)基板5’進(jìn)行各種工藝，如對(duì)基板5’表面濺射各種離子，在濺射過(guò)程中需要基板5’直立并進(jìn)行移動(dòng)，現(xiàn)有的基板5’的移動(dòng)過(guò)程中大多是通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)對(duì)基板5’進(jìn)行加持固定，保證基板5’處于直立狀態(tài)，然后再通過(guò)行走機(jī)構(gòu)帶動(dòng)基板5’移動(dòng)，雖然通過(guò)夾持機(jī)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)基板5’在行走過(guò)程中保持直立狀態(tài)，但是夾持機(jī)構(gòu)主要是通過(guò)夾持器(如方塊夾持器12’和三角夾持器11’)對(duì)基板5’進(jìn)行固定，基板5’與夾持器之間存在一定的縫隙，在基板5’移動(dòng)過(guò)程中存在基板5’晃動(dòng)脫落的隱患；而對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中采用真空吸附裝置對(duì)基板5’進(jìn)行吸附，真空管始終與真空吸附裝置連接，會(huì)隨著基板5’一起移動(dòng)，無(wú)法實(shí)現(xiàn)離線(xiàn)吸附，真空管可能會(huì)纏繞鉤掛在其他裝置上，影響基板5’的移動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題

本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是：?jiǎn)为?dú)使用夾持機(jī)構(gòu)對(duì)基板進(jìn)行固定，在基板直立行走過(guò)程中存在晃動(dòng)脫落的隱患；使用真空吸附裝置對(duì)基板進(jìn)行吸附固定，無(wú)法實(shí)現(xiàn)離線(xiàn)吸附，整個(gè)裝置體積更大，限制了基板的移動(dòng)。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于離線(xiàn)真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，包括設(shè)有夾持器的承載框，所述承載框上設(shè)置有真空吸附裝置和分離裝置，所述真空吸附裝置用于對(duì)基板進(jìn)行吸附固定，所述分離裝置用于將連接在一起的真空吸附裝置和真空管分開(kāi)，并保持真空吸附裝置對(duì)待運(yùn)送基板的持續(xù)吸附。

其中，所述真空吸附裝置包括固定在承載框一側(cè)由多條相互連通的管路構(gòu)成的吸附架，所述吸附架上設(shè)置有與管路相互連通的真空吸頭；所述真空管與所述管路連通。

其中，所述真空吸頭包括吸盤(pán)和吸氣管，所述吸氣管的一端與吸盤(pán)連通，另一端與管路連通。

其中，所述吸附架上設(shè)置有多個(gè)真空吸頭，多個(gè)所述真空吸頭上吸盤(pán)的吸附面位于同一平面上，且每個(gè)所述吸附面均位于所述承載框內(nèi)。

其中，所述真空吸附裝置包括固定在承載框一側(cè)的真空板，所述真空板具有中空腔體和位于承載框內(nèi)的吸附平面，所述吸附平面上設(shè)置有多個(gè)與所述中空腔體連通的吸附孔，所述真空管與所述中空腔體連通。

其中，多個(gè)所述吸附孔在所述吸附平面上均勻分布。

其中，所述分離裝置包括設(shè)置在真空吸附裝置上的第一接頭和設(shè)置在真空管上與第一接頭配合的第二接頭，所述第一接頭上設(shè)置有截止閥。

其中，所述分離裝置還包括氣缸，所述氣缸與第二接頭連接，所述分離裝置用于實(shí)現(xiàn)第一接頭與第二接頭在連接狀態(tài)和斷開(kāi)狀態(tài)之間的切換。

其中，所述夾持器設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述夾持器成對(duì)設(shè)置在承載框的兩側(cè)；背離所述真空吸附裝置一側(cè)的夾持器能夠開(kāi)合。

本發(fā)明還提供了一種基板傳送方法，包括以下步驟：

S1，將基板放入承載框內(nèi)，使用夾持器對(duì)基板進(jìn)行固定；

S2，利用真空吸附裝置對(duì)基板吸附固定；

S3，通過(guò)分離裝置將真空吸附裝置與真空管分開(kāi)，并保持真空吸附裝置對(duì)待運(yùn)送基板的持續(xù)吸附。

(三)有益效果

本發(fā)明的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明提供的用于離線(xiàn)真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，在設(shè)有夾持器的承載框上設(shè)置真空吸附裝置和分離裝置，先通過(guò)夾持器對(duì)基板進(jìn)行初步的固定，再通過(guò)真空吸附裝置對(duì)基板進(jìn)一步的固定，固定的更加牢靠，解決了單獨(dú)使用夾持機(jī)構(gòu)對(duì)基板固定時(shí)，基板在直立運(yùn)輸過(guò)程中存在晃動(dòng)脫落的隱患的問(wèn)題；同時(shí)，還設(shè)置了分離裝置，所述分離裝置能夠?qū)⒄婵瘴窖b置和用于對(duì)真空吸附裝置提供形成真空條件的真空管分開(kāi)，同時(shí)在真空管與真空吸附裝置分開(kāi)后，真空吸附裝置能夠持續(xù)對(duì)基板進(jìn)行吸附，實(shí)現(xiàn)離線(xiàn)吸附功能，真空管不會(huì)隨著基板一起移動(dòng)，避免了由于真空管的長(zhǎng)度不夠或者真空管纏繞鉤掛在其他裝置上影響基板的移動(dòng)。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明上述和/或附加方面的優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是現(xiàn)有的用于傳送基板的承載機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實(shí)施例一所述的用于離線(xiàn)真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)的示意圖；

圖3是本發(fā)明實(shí)施例一中真空吸頭的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明實(shí)施例二所述的用于離線(xiàn)真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)的示意圖。

其中圖1至圖4中附圖標(biāo)記與部件名稱(chēng)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為：