[發(fā)明專利]一種用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)和基板傳送方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510355093.4
• 申請(qǐng)日: 2015-06-24
• 公開（公告）號(hào): CN105097633A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石旭;徐志龍;劉軍;王小軍;李冬青;黃書同;陳偉;張磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 郝瑞剛

1.一種用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括設(shè)有夾持器的承載框(1)，所述承載框(1)上設(shè)置有真空吸附裝置和分離裝置，所述真空吸附裝置用于對(duì)基板(5)進(jìn)行吸附固定，所述分離裝置用于將連接在一起的真空吸附裝置和真空管(4)分開，并保持真空吸附裝置對(duì)待運(yùn)送基板(5)的持續(xù)吸附。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述真空吸附裝置包括固定在承載框(1)一側(cè)由多條相互連通的管路(21)構(gòu)成的吸附架(2)，所述吸附架(2)上設(shè)置有與管路(21)相互連通的真空吸頭(22)；所述真空管(4)與所述管路(21)連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述真空吸頭(22)包括吸盤(221)和吸氣管(222)，所述吸氣管(222)的一端與吸盤(221)連通，另一端與管路(21)連通。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述吸附架(2)上設(shè)置有多個(gè)真空吸頭(22)，多個(gè)所述真空吸頭(22)上吸盤(221)的吸附面(223)位于同一平面上，且每個(gè)所述吸附面(223)均位于所述承載框(1)內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述真空吸附裝置包括固定在承載框(1)一側(cè)的真空板(3)，所述真空板(3)具有中空腔體和位于承載框(1)內(nèi)的吸附平面，所述吸附平面上設(shè)置有多個(gè)與所述中空腔體連通的吸附孔(31)，所述真空管(4)與所述中空腔體連通。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：多個(gè)所述吸附孔(31)在所述吸附平面上均勻分布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述分離裝置包括設(shè)置在真空吸附裝置上的第一接頭和設(shè)置在真空管(4)上與第一接頭配合的第二接頭，所述第一接頭上設(shè)置有截止閥。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述分離裝置還包括氣缸，所述氣缸與第二接頭連接，所述分離裝置用于實(shí)現(xiàn)第一接頭與第二接頭在連接狀態(tài)和斷開狀態(tài)之間的切換。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于離線真空吸附基板的承載機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述夾持器設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)所述夾持器成對(duì)設(shè)置在承載框(1)的兩側(cè)；背離所述真空吸附裝置一側(cè)的夾持器能夠開合。

10.一種基板傳送方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，將基板(5)放入承載框(1)內(nèi)，使用夾持器對(duì)基板(5)進(jìn)行固定；

S2，利用真空吸附裝置對(duì)基板(5)吸附固定；

S3，通過(guò)分離裝置將真空吸附裝置與真空管(4)分開，并保持真空吸附裝置對(duì)待運(yùn)送基板(5)的持續(xù)吸附。