[發明專利]探測基板及其制造方法、探測器

有效

• 申請號: 201510341771.1
• 申請日: 2015-06-18
• 公開（公告）號: CN105097860B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 郭煒
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/146
• 分類號: H01L27/146
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種探測基板，包括：同層設置的多個感應電極和多個偏壓電極，且所述感應電極和所述偏壓電極交替間隔排列；位于所述感應電極和所述偏壓電極上的射線吸收層，所述射線吸收層在入射的X射線作用下產生電子空穴對，所述感應電極用于采集X射線激發的電子或空穴；其特征在于，至少一個所述感應電極與其相鄰的所述偏壓電極之間設置有絕緣塊。

2.根據權利要求1所述的探測基板，其特征在于，

每一個所述感應電極與其相鄰的所述偏壓電極之間均設置有絕緣塊。

3.根據權利要求1或2所述的探測基板，其特征在于，所述絕緣塊與其相鄰的所述感應電極和所述偏壓電極均接觸。

4.根據權利要求1或2所述的探測基板，其特征在于，所述絕緣塊采用下述材料中的一種或多種制成：

尼龍、聚丙烯、聚四氟乙烯、聚醚醚酮、聚砜、聚醚酰亞胺、聚偏二氟乙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚苯醚、聚苯硫醚、氯化聚氯乙烯、丙烯腈、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚碳酸酯、聚乙稀、聚氯乙烯、超高分子聚乙烯、聚酰亞胺、聚氨酯、聚對苯二酰對苯二胺、酚醛樹脂棉、聚苯并咪唑和聚酰胺酰亞胺。

5.根據權利要求4所述的探測基板，其特征在于，所述絕緣塊采用聚酰胺酰亞胺制成。

6.根據權利要求1或2所述的探測基板，其特征在于，多個所述感應電極為呈梳狀的一體結構，多個所述偏壓電極為呈梳狀的一體結構，且一體結構的多個感應電極的梳齒與一體結構的多個偏壓電極的梳齒交替間隔排列。

7.根據權利要求1或2所述的探測基板，其特征在于，所述探測基板還包括：

襯底基板；

設置于所述襯底基板上呈陣列狀排列的多個薄膜晶體管；

在所述薄膜晶體管上的第一絕緣層，以及位于第一絕緣層上的第二絕緣層，所述感應電極和所述偏壓電極均設置于所述第二絕緣層上；

位于所述第一絕緣層和所述第二絕緣層之間的電容電極層；

其中，每個所述薄膜晶體管包括一個漏極金屬塊，所述電容電極層包括多個電極塊，所述電極塊與所述漏極金屬塊組成用于存儲探測信號的存儲電容；所述第一絕緣層和所述第二絕緣層設置有相連通的過孔，所述漏極金屬塊通過所述過孔與所述感應電極連接。

8.根據權利要求7所述的探測基板，其特征在于，所述絕緣塊為所述第二絕緣層伸入相鄰的所述感應電極和所述偏壓電極之間的部分。

9.根據權利要求1所述的探測基板，其特征在于，所述射線吸收層為非晶硒層。

10.根據權利要求7所述的探測基板，其特征在于，每個所述漏極金屬塊均與兩個所述電極塊相對應，用于組成一個所述存儲電容，兩個所述電極塊分別位于所述過孔的兩側。

11.一種探測器，其特征在于，包括如權利要求1-10任一項所述的探測基板。

12.一種探測基板的制造方法，其特征在于，包括：

形成同層設置的多個感應電極和多個偏壓電極，且所述感應電極和所述偏壓電極交替間隔排列；

在至少一個所述感應電極與其相鄰的所述偏壓電極之間形成絕緣塊；

在所述感應電極、所述偏壓電極和所述絕緣塊上形成射線吸收層；

其中，所述射線吸收層用于在入射的X射線作用下產生電子空穴對，所述感應電極用于采集X射線激發的電子或空穴。

13.根據權利要求12所述的制造方法，其特征在于，

在每一個所述感應電極與其相鄰的所述偏壓電極之間形成絕緣塊。