[發(fā)明專利]射束照射裝置及射束照射方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510323772.3
• 申請日: 2015-06-12
• 公開（公告）號: CN105280467B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 月原光國;井門德安;末次紀(jì)之
• 申請（專利權(quán)）人: 斯伊恩股份有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/265
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

1.一種射束照射裝置，其用于向?qū)ο笪镎丈鋷щ娏Ｗ邮涮卣髟谟冢邆洌?/p>

射束掃描器，使所述帶電粒子束沿規(guī)定的掃描方向往復(fù)掃描；

測定器，具有：狹縫，沿所述掃描方向的交叉方向具有細(xì)長形狀，對作為測量對象的區(qū)域進(jìn)行劃分；及多個集電極，沿所述交叉方向具有細(xì)長形狀，從所述狹縫沿射束前進(jìn)方向分離，沿所述掃描方向排列配置；及

數(shù)據(jù)處理部，利用所述測定器的測量結(jié)果，計算帶電粒子束的有效照射發(fā)射度，

所述測定器在所述往復(fù)掃描的帶電粒子束沿所述掃描方向通過所述狹縫的開口區(qū)域的時間內(nèi)，測量入射到所述狹縫而通過所述多個集電極檢測的帶電粒子數(shù)的時間變化值，

所述數(shù)據(jù)處理部將所述測定器所測量的角度分布的時間變化值中所包含的時間信息轉(zhuǎn)換為位置信息來計算所述有效照射發(fā)射度，

所述有效照射發(fā)射度表示針對假想射束的所述掃描方向的發(fā)射度，所述假想射束能夠通過將沿所述掃描方向掃描而射入到作為所述測量對象的區(qū)域的帶電粒子束的一部分相加而形成。

2.一種射束照射裝置，其用于向?qū)ο笪镎丈鋷щ娏Ｗ邮涮卣髟谟冢邆洌?/p>

射束掃描器，使所述帶電粒子束沿規(guī)定的掃描方向往復(fù)掃描；

測定器，在沿所述掃描方向往復(fù)掃描的帶電粒子束通過作為測量對象的區(qū)域而射入到所述測定器的時間內(nèi)，測量一邊沿所述掃描方向移動一邊被往復(fù)掃描的帶電粒子束的角度分布的時間變化值；

驅(qū)動裝置，具有位置檢測部，其能夠遍及所述帶電粒子束的所述掃描方向的照射范圍而移動所述測定器，并能夠檢測所述測定器的所述掃描方向的位置；及數(shù)據(jù)處理部，與所述位置檢測部檢測的所述測定器的位置對應(yīng)地計算帶電粒子束的有效照射發(fā)射度，

所述有效照射發(fā)射度表示針對假想射束的所述掃描方向的發(fā)射度，所述假想射束能夠通過將沿所述掃描方向掃描而射入到作為所述測量對象的區(qū)域的帶電粒子束的一部分相加而形成。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射束照射裝置，其特征在于，

所述測定器遍及所述帶電粒子束的所述照射范圍而測量所述掃描方向的多個位置的所述角度分布的時間變化值，

所述數(shù)據(jù)處理部遍及所述帶電粒子束的所述照射范圍而計算所述掃描方向的多個位置的所述有效照射發(fā)射度。

4.一種射束照射裝置，其用于向?qū)ο笪镎丈鋷щ娏Ｗ邮涮卣髟谟冢?/p>

具備：

射束掃描器，使所述帶電粒子束沿規(guī)定的掃描方向往復(fù)掃描；

測定器，在沿所述掃描方向往復(fù)掃描的帶電粒子束通過作為測量對象的區(qū)域而射入到所述測定器的時間內(nèi)，測量一邊沿所述掃描方向移動一邊被往復(fù)掃描的帶電粒子束的角度分布的時間變化值；

驅(qū)動裝置，其能夠使所述測定器沿所述掃描方向移動來使作為所述測量對象的區(qū)域沿所述掃描方向移動；及

數(shù)據(jù)處理部，將所述測定器所測量的角度分布的時間變化值中所包含的時間信息轉(zhuǎn)換為位置信息來計算有效照射發(fā)射度，

所述有效照射發(fā)射度表示針對假想射束的所述掃描方向的發(fā)射度，所述假想射束能夠通過將沿所述掃描方向掃描而射入到作為所述測量對象的區(qū)域的帶電粒子束的一部分相加而形成，

所述射束照射裝置還具備模式切換部，其控制所述射束掃描器及所述驅(qū)動裝置的動作來切換與所述帶電粒子束的角度分布相關(guān)的測量模式，

所述模式切換部具有：

第1測量模式，通過所述射束掃描器使所述帶電粒子束往復(fù)掃描，使所述測定器針對沿所述掃描方向往復(fù)掃描的帶電粒子束測量角度分布的時間變化值；及

第2測量模式，停止基于所述射束掃描器的所述帶電粒子束的往復(fù)掃描，并且使所述測定器沿所述掃描方向移動，由此使所述測定器測量針對未被往復(fù)掃描的帶電粒子束的角度分布的時間變化值，

所述數(shù)據(jù)處理部在所述第1測量模式中計算所述有效照射發(fā)射度，并在所述第2測量模式中計算所述未被往復(fù)掃描的帶電粒子束的發(fā)射度。