[發(fā)明專利]射束照射裝置及射束照射方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510323772.3
• 申請(qǐng)日: 2015-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN105280467B
• 公開（公告）日: 2018-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 月原光國;井門德安;末次紀(jì)之
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 斯伊恩股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/317
• 分類號(hào): H01J37/317;H01L21/265
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 徐殿軍

本發(fā)明提供一種提高射束照射處理品質(zhì)的技術(shù)。本發(fā)明的射束照射裝置(10)具備：射束掃描器(26)，使帶電粒子束(B)沿規(guī)定的掃描方向往復(fù)掃描；測(cè)定器(42)，能夠測(cè)量射入到作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域的帶電粒子的角度成分；及數(shù)據(jù)處理部，利用測(cè)定器(42)的測(cè)定結(jié)果，計(jì)算帶電粒子束(B)的有效照射發(fā)射度。測(cè)定器(42)在沿掃描方向往復(fù)掃描的帶電粒子束(B)通過作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域而射入到測(cè)定器(42)的時(shí)間內(nèi)測(cè)量針對(duì)帶電粒子束(B)的角度分布的時(shí)間變化值，數(shù)據(jù)處理部將測(cè)定器所測(cè)量的角度分布的時(shí)間變化值中所包含的時(shí)間信息轉(zhuǎn)換為位置信息來計(jì)算有效照射發(fā)射度。有效照射發(fā)射度表示針對(duì)假想射束的發(fā)射度，所述假想射束能夠通過將沿掃描方向掃描而射入到作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域的帶電粒子束的一部分相加而形成。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)主張基于2014年6月13日申請(qǐng)的日本專利申請(qǐng)第2014-122347號(hào)的優(yōu)先權(quán)。其申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容通過參考援用于本說明書中。

本發(fā)明涉及一種射束照射裝置及射束照射方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件的制造工序中，為了改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電性的目的或改變半導(dǎo)體的晶體結(jié)構(gòu)的目的等，標(biāo)準(zhǔn)地實(shí)施向半導(dǎo)體晶片注入離子的離子注入工序。離子注入工序中使用的裝置稱為離子注入裝置，具有通過離子源生成離子并加速所生成的離子來形成離子束的功能、及將該離子束傳輸至注入處理室并向處理室內(nèi)的晶片照射離子束的功能。這種離子注入裝置為用于向?qū)ο笪镎丈溆呻x子或電子等帶電粒子構(gòu)成的帶電粒子束的射束照射裝置的一例。

作為表示相對(duì)于帶電粒子束的前進(jìn)方向會(huì)聚或發(fā)散的狀態(tài)的指標(biāo)，有稱作“發(fā)射度”的概念。發(fā)射度例如通過將與射束軌道正交的平面內(nèi)的位置x、和該位置上的帶電粒子的前進(jìn)方向與射束軌道所呈的角度θ標(biāo)繪于x-θ平面的x-θ分布來規(guī)定。例如，利用拍攝元件測(cè)量通過小孔分離離子射束并且通過小孔的射束射入到熒光板而產(chǎn)生的發(fā)光，由此測(cè)量離子束的入射角度以及發(fā)射度(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2005-63874號(hào)公報(bào)

已知若射入到晶片的離子束的角度發(fā)生變化，則離子束與晶片的相互作用的方式發(fā)生變化，對(duì)離子注入的處理結(jié)果帶來影響。因此，為了適當(dāng)?shù)乜刂齐x子注入工序，要求掌握離子束的角度信息。尤其，為了評(píng)價(jià)相對(duì)于整個(gè)晶片的離子注入處理的品質(zhì)，了解對(duì)具有何種入射角度的離子在晶片的各地點(diǎn)照射何種程度變得很重要。換言之，從晶片的某個(gè)地點(diǎn)觀察而非測(cè)量照射到晶片的離子束所具有的角度信息的視點(diǎn)時(shí)，要求測(cè)量射入到該地點(diǎn)的離子的角度信息的視點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供一種提高射束照射處理品質(zhì)的技術(shù)。

為了解決上述課題，本發(fā)明的一方式為一種射束照射裝置，其用于向?qū)ο笪镎丈鋷щ娏Ｗ邮渲校邆洌荷涫鴴呙杵鳎箮щ娏Ｗ邮匾?guī)定的掃描方向往復(fù)掃描；測(cè)定器，能夠測(cè)量射入到作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域的帶電粒子的角度成分；及數(shù)據(jù)處理部，利用測(cè)定器的測(cè)量結(jié)果，計(jì)算帶電粒子束的有效照射發(fā)射度。測(cè)定器在沿掃描方向往復(fù)掃描的帶電粒子束通過作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域而射入到測(cè)定器的時(shí)間內(nèi)，測(cè)量針對(duì)帶電粒子束的角度分布的時(shí)間變化值，數(shù)據(jù)處理部將測(cè)定器所測(cè)量的角度分布的時(shí)間變化值中所包含的時(shí)間信息轉(zhuǎn)換為位置信息來計(jì)算有效照射發(fā)射度，有效照射發(fā)射度為表示針對(duì)假想射束的掃描方向的發(fā)射度，所述假想射束能夠通過將沿掃描方向掃描而射入到作為測(cè)量對(duì)象的區(qū)域的帶電粒子束的一部分相加而形成。