[發(fā)明專利]涂布噴頭、具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510317541.1
• 申請(qǐng)日: 2015-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN105080741A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙玉亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B05B1/04
• 分類號(hào): B05B1/04;B05B13/02;B05B13/04;B05D1/02
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;侯藝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在玻璃基板或者其它被處理物的表面上涂布如光阻或者其它涂布液的涂布噴頭，以及具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法。

背景技術(shù)

在平板顯示器的制作過程中，通常采用具有狹縫式噴嘴的涂布噴頭在大尺寸玻璃基板上進(jìn)行光阻涂布。光阻由狹縫式噴嘴吐出，在玻璃基板表面上形成均勻的光阻膜。圖1a是現(xiàn)有技術(shù)中的涂布噴頭的立體圖，圖1b是現(xiàn)有技術(shù)的涂布噴頭的立體分解圖。如圖1a和圖1b所示，現(xiàn)有的涂布噴頭100由左主體110和右主體120構(gòu)成，右主體120的對(duì)接面121形成為平面，涂布液輸入孔190在右主體120的中間位置上沿寬度方向貫穿右主體120而形成，同時(shí)，左主體110的中間位置上形成有沿長(zhǎng)度方向延伸的涂布液蓄積槽130，如圖1b中示出的對(duì)接面113被涂布液蓄積槽130劃分為上對(duì)接面141和下對(duì)接面142。上對(duì)接面141可形成在涂布液蓄積槽130的上方，以與右主體120的對(duì)接面121接合。下對(duì)接面142可形成在涂布液蓄積槽130的下方并相對(duì)于上對(duì)接面141沿寬度方向被更多地研磨，以與右主體120的對(duì)接面121形成狹縫式噴出口160。涂布噴頭100的兩側(cè)端部通過側(cè)板170和180被不透液地封閉。

圖2是具有圖1a中示出的涂布噴頭的涂布裝置。涂布噴頭100固定在支撐架210上，支撐架210可通過自身所帶的行走軸211沿X方向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)涂布噴頭100沿X方向運(yùn)動(dòng)。在涂布噴頭100運(yùn)動(dòng)的同時(shí)，固定于支撐架210上的送液泵220將光阻注入到涂布噴頭100中，涂布噴頭100的噴出口160噴出光阻，對(duì)放置在承載臺(tái)230上的玻璃基板進(jìn)行涂布。

如圖2中示出的，現(xiàn)有技術(shù)中的涂布裝置只能實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃基板的整板涂布，也就是說，利用同一塊玻璃基板只能生產(chǎn)相同尺寸的產(chǎn)品。然而，為了提高玻璃基板的利用率，當(dāng)利用同一塊玻璃基板生產(chǎn)不同尺寸的產(chǎn)品時(shí)，目前通常采用混合排列模式(Multi-ModelGlass)進(jìn)行切割，即，對(duì)玻璃基板進(jìn)行大尺寸切割后，剩余的空白部分進(jìn)行小尺寸切割，但是現(xiàn)有技術(shù)中的同一涂布裝置無法對(duì)采用混合排列模式的整個(gè)玻璃基板進(jìn)行涂布。另外，隨著技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)了區(qū)域涂布的需求。即，以往只要通過涂布裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行整體涂布即可，但是近來玻璃基板被劃分成不同的區(qū)域，有些區(qū)域需要涂布，而有些區(qū)域則不需要涂布。此外，隨著制造行業(yè)的發(fā)展，機(jī)械設(shè)備逐漸朝向小型化和纖薄化方向發(fā)展，同時(shí)也對(duì)機(jī)械設(shè)備的多功能性提出了更高的要求。也就是說，同一機(jī)械設(shè)備應(yīng)能根據(jù)產(chǎn)品的要求(例如，尺寸要求)進(jìn)行生產(chǎn)而盡量不更換機(jī)械設(shè)備。例如，同一機(jī)械設(shè)備應(yīng)能根據(jù)產(chǎn)品尺寸的變化而生產(chǎn)不同尺寸的產(chǎn)品。然而，現(xiàn)有的涂布裝置比較單一和固定，因此，如何增加涂布裝置的功能性，也是亟需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本發(fā)明提供了一種涂布噴頭，所述涂布噴頭由左主體和右主體結(jié)合而成，在所述左主體和所述右主體中的至少一個(gè)主體的對(duì)接面上形成有決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部，所述涂布噴頭還包括可拆卸地安裝在所述左主體的對(duì)接面與所述右主體的對(duì)接面之間的至少一個(gè)分隔件，所述至少一個(gè)分隔件位于所述凹部以將所述涂布噴頭分隔成多個(gè)子涂布噴頭并通過調(diào)節(jié)所述至少一個(gè)分隔件的位置來調(diào)節(jié)所述多個(gè)子涂布噴頭的涂布面積。

所述左主體和右主體中的一個(gè)主體中形成有沿寬度方向貫穿所述一個(gè)主體的多個(gè)第一螺紋孔，所述至少一個(gè)分隔件中形成有至少一個(gè)第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個(gè)分隔件固定連接到所述一個(gè)主體的對(duì)接面。

所述左主體和所述右主體中分別形成有沿寬度方向貫穿所述左主體和所述右主體的多個(gè)第一螺紋孔，所述至少一個(gè)分隔件中形成有沿寬度方向貫穿所述至少一個(gè)分隔件的至少一個(gè)第二螺紋孔，以通過連接螺釘將所述至少一個(gè)分隔件固定連接到所述左主體和所述右主體之間。

所述多個(gè)第一螺紋孔沿長(zhǎng)度方向排列，未使用的第一螺紋孔使用螺釘鎖閉。

所述多個(gè)第一螺紋孔沿長(zhǎng)度方向等距排列。

在形成有所述凹部的對(duì)接面上，在所述凹部上方形成涂布液蓄積槽，所述至少一個(gè)分隔件的頂部位于該涂布液蓄積槽之下。

形成有所述凹部的主體的頂部形成有與所述涂布液蓄積槽連通的涂布液輸入孔，用于注入涂布液。

所述至少一個(gè)分隔件的與所述左主體的對(duì)接面和所述右主體的對(duì)接面中的至少一個(gè)對(duì)接面接合的接合面上附著有可防酸性腐蝕且彈性良好的橡膠貼膜。