[發明專利]涂布噴頭、具有該涂布噴頭的涂布裝置及其涂布方法在審
| 申請號: | 201510317541.1 | 申請日: | 2015-06-10 |
| 公開(公告)號: | CN105080741A | 公開(公告)日: | 2015-11-25 |
| 發明(設計)人: | 趙玉亮 | 申請(專利權)人: | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | B05B1/04 | 分類號: | B05B1/04;B05B13/02;B05B13/04;B05D1/02 |
| 代理公司: | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人: | 孫偉峰;侯藝 |
| 地址: | 518132 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴頭 具有 裝置 及其 方法 | ||
1.一種涂布噴頭,由左主體和右主體結合而成,在所述左主體和所述右主體中的至少一個主體的對接面上形成有決定狹縫狀噴出口的寬度尺寸的凹部,
其特征在于,所述涂布噴頭還包括可拆卸地安裝在所述左主體的對接面與所述右主體的對接面之間的至少一個分隔件,所述至少一個分隔件位于所述凹部以將所述涂布噴頭分隔成多個子涂布噴頭并通過調節所述至少一個分隔件的位置來調節所述多個子涂布噴頭的涂布面積。
2.根據權利要求1所述的涂布噴頭,其特征在于,所述左主體和右主體中的一個主體中形成有沿寬度方向貫穿所述一個主體的多個第一螺紋孔,所述至少一個分隔件中形成有至少一個第二螺紋孔,以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述一個主體的對接面。
3.根據權利要求1所述的涂布噴頭,其特征在于,所述左主體和所述右主體中分別形成有沿寬度方向貫穿所述左主體和所述右主體的多個第一螺紋孔,所述至少一個分隔件中形成有沿寬度方向貫穿所述至少一個分隔件的至少一個第二螺紋孔,以通過連接螺釘將所述至少一個分隔件固定連接到所述左主體和所述右主體之間。
4.根據權利要求2或3所述的涂布噴頭,其特征在于,所述多個第一螺紋孔沿長度方向排列,未使用的第一螺紋孔使用螺釘鎖閉。
5.根據權利要求4所述的涂布噴頭,其特征在于,所述多個第一螺紋孔沿長度方向等距排列。
6.根據權利要求1所述的涂布噴頭,其特征在于,在形成有所述凹部的對接面上,在所述凹部上方形成涂布液蓄積槽,所述至少一個分隔件的頂部位于該涂布液蓄積槽之下。
7.根據權利要求6所述的涂布噴頭,其特征在于,形成有所述凹部的主體的頂部形成有與所述涂布液蓄積槽連通的涂布液輸入孔,用于注入涂布液。
8.根據權利要求1所述的涂布噴頭,其特征在于,所述至少一個分隔件的與所述左主體的對接面和所述右主體的對接面中的至少一個對接面接合的接合面上附著有可防酸性腐蝕且彈性良好的橡膠貼膜。
9.一種涂布裝置,所述涂布裝置包括:
承載臺,承載被處理物;
涂布噴頭,向被處理物噴涂涂布液;
支撐架,支撐所述涂布噴頭并帶動所述涂布噴頭水平運動;
送液泵,抽取涂布液并將涂布液注入到所述涂布噴頭中;
控制系統,控制所述支撐架的運動以及調節所述送液泵的吐液速率;
其中,所述涂布噴頭使用權利要求1至8中任意一項所述的涂布噴頭。
10.一種使用權利要求9所述的涂布裝置對被處理物進行涂布的涂布方法,其特征在于,所述方法包括:
將至少一個分隔件螺釘連接到涂布噴頭的左主體和右主體之間;
將待涂布的被處理物置于承載臺上;
將涂布噴頭的分隔件與被處理物上的涂布區域的分界帶對齊;
確定送液泵的吐液速率;
控制支撐架運動,從而帶動所述涂布噴頭沿著水平方向運動,以實現對所述被處理物的涂布。
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