[發明專利]用于通過材料去除制造出覆蓋元件中的弱化線的方法

有效

• 申請號: 201510315680.0
• 申請日: 2015-06-10
• 公開（公告）號: CN105195898B
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 沃爾特·盧策;馬丁·格里貝爾;于爾根·魏瑟爾
• 申請（專利權）人: 詹諾普蒂克自動化技術有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/402
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 車文;張建濤

1.一種用于通過材料去除在覆蓋元件(1)上產生弱化線(2)的方法，所述覆蓋元件具有觀察側(11)和觀察側(11)對面的后側(12)，其中，將具有由脈沖幅度和脈沖長度確定的能量的激光脈沖(3)對準后側(12)，并且以進給速度分別在加工循環(Z)中多次重復地沿著虛擬線(20)將能量輸入覆蓋元件(1)中，由此，由于通過具有狹縫長度(I)的至少一個狹縫(21)實現的材料去除而形成弱化線(2)，并且存在于所述至少一個狹縫(21)下方與觀察側(11)鄰接的殘壁的殘壁厚度隨著每個加工循環(Z)而減小，所述殘壁厚度小到使激光脈沖(3)的能量的透射過殘壁的能量分量被傳感器裝置(8)檢測到，由此獲知了殘壁厚度，其特征在于，

沿著所述至少一個狹縫(21)，逐點地沿著虛擬線(20)，在具有第一長度(I₄)的至少一個第一區段(4)中比在具有第二長度(I₅)的至少一個第二區段(5)中輸入更高的能量，從而使得殘壁沿著至少一個第一區段(4)的第一殘壁區段(R₄)的第一殘壁區段厚度(r₄)比殘壁沿著至少一個第二區段(5)的第二殘壁區段(R₅)的第二殘壁區段厚度(r₅)分別更快地降低，由此在能夠獲知沿著所述至少一個第二區段(5)的第二殘壁區段(R₅)的第二殘壁區段厚度(r₅)之前，先獲知了沿著所述至少一個第一區段(4)的第一殘壁區段(R₄)的第一殘壁區段厚度(r₄)，并由此推斷出沿著所述至少一個第二區段(5)的第二殘壁區段(R₅)的第二殘壁區段厚度(r₅)，而無需獲知所述第二殘壁區段厚度。

2.根據權利要求1的方法，其特征在于，針對每個狹縫(21)，沿著所述至少一個第一區段(4)的第一長度(I₄)，能量輸入至少在所述加工循環(Z)中的第一加工循環中通過所述激光脈沖(3)中的至少一個具有相對較短的脈沖長度(w₁)的激光脈沖進行，并且沿著狹縫(21)的狹縫長度(I)，在所述加工循環(Z)中的另外的加工循環中，能量輸入通過所述激光脈沖(3)的具有相對較長的脈沖長度(w₂)的激光脈沖進行。

3.根據權利要求2的方法，其特征在于，激光脈沖(3)的脈沖幅度(A)至少分別在所述加工循環(Z)中的一個加工循環中是相同的。

4.根據權利要求1的方法，其特征在于，針對每個狹縫(21)和每個加工循環(Z)，能量輸入分別以所述激光脈沖(3)中的至少一個相同的激光脈沖進行，所述至少一個相同的激光脈沖在其脈沖長度(w)上是經幅度調制的，并且具有針對沿著所述至少一個第一區段(4)的第一長度(I₄)的能量輸入的相對較大的脈沖幅度(A₁)以及針對沿著所述至少一個第二區段(5)的第二長度(I₅)的能量輸入的相對較小的脈沖幅度(A₂)。

5.根據權利要求1的方法，其特征在于，針對每個狹縫(21)和每個加工循環(Z)，能量輸入以相同的一系列激光脈沖(3)來進行，在所述一系列激光脈沖中，所述激光脈沖(3)中的至少一個激光脈沖具有針對沿著所述至少一個第一區段(4)的長度(I₄)的能量輸入的相對較大的脈沖幅度(A₁)，而所述激光脈沖(3)中的多個激光脈沖直接相繼跟隨，并且具有針對沿著所述至少一個第二區段(5)的第二長度(I₅)的能量輸入的相對較小的脈沖幅度(A₂)。