[發明專利]一種硅片清洗筐

在審

• 申請號: 201510307101.8
• 申請日: 2015-06-04
• 公開（公告）號: CN104826850A
• 公開（公告）日: 2015-08-12
• 發明（設計）人: 邢玉軍;蘇榮義;趙勇;孫紅永;張全紅
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B3/12
• 代理公司: 天津濱?？凭曋R產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莉華

技術領域

本發明創造屬于硅材料加工領域，尤其是涉及一種硅片清洗筐。

背景技術

面對當前競爭越來越激烈的半導體材料市場，提高硅片產品的自身品質是提高產品競爭力的有效途徑之一，而硅片表面的清洗效果為考察硅片表面質量的一項重要參數。

原始的超聲波清洗機使用的清洗筐，僅為裝載標準片籃的載體，起到帶動片籃隨著清洗機的機械手在超聲波清洗機的各槽內轉移及隨著拋動臂在清洗槽內進行拋動。硅片在片籃內處于相對靜止狀態，由于超聲波被片籃阻擋或洗手、清洗液在狹小的空間內無法自由流動，導致硅片與片籃接觸的位置存在片籃印，影響硅片表面的清洗效果。

發明內容

本發明創造要解決的問題是提供一種能夠有效改善清洗效果的硅片清洗籃。

為解決上述技術問題，本發明創造采用的技術方案是：一種硅片清洗筐，包括清洗筐和片籃，所述片籃置于清洗筐底部，所述片籃內排放有硅片，還包括轉動軸、軸承、齒輪、齒條和重力傳動墜，所述轉動軸、軸承和齒輪由內向外依次套裝，所述轉動軸固定在清洗筐內片籃所在位置的底部，所述齒條與齒輪嚙合，所述齒條下端與重力傳動墜連接，所述轉動軸與排放在片籃內的硅片相接觸。

優選地，所述軸承為單向軸承。

本發明創造具有的優點和積極效果是：能夠使硅片各個位置都均勻接收超聲作用，防止出現清洗死角或片籃印，有效改善硅片表面的清洗效果，提高硅片表面質量，進一步提高了產品的市場競爭力。

附圖說明

圖1是本發明創造結構示意圖；

圖2是本發明創造在清洗筐向上拋動時的工作原理示意圖；

圖3是本發明創造在清洗筐向下拋動時的工作原理示意圖；

圖中：1-清洗筐，2-片籃，3-硅片，4-轉動軸，5-軸承，6-齒輪，7-齒條，8-動力傳動墜。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明創造的具體實施例做詳細說明。

一種硅片清洗筐，包括清洗筐1和片籃2，所述片籃2置于清洗筐1底部，所述片籃2內排放有硅片3，還包括轉動軸4、軸承5、齒輪6、齒條7和重力傳動墜8，所述轉動軸4、軸承5和齒輪6由內向外依次套裝，其中所述軸承5為單向軸承，所述轉動軸4固定在清洗筐1內片籃2所在位置的底部，所述齒條7與齒輪6嚙合，所述齒條7下端與重力傳動墜8連接，所述轉動軸4與排放在片籃2內的硅片3相接觸。

原硅片清洗筐的工作原理如下：清洗筐1在設備內上下移動，帶動片籃2作拋動動作，同時硅片3也隨之作拋動動作。硅片3在片籃2內處于靜止狀態，由于超聲波被片籃2阻擋或吸收，清洗液在狹小的空間內無法自由流動，導致硅片3與片籃2接觸的位置存在片籃印。

本發明創造的工作原理如下：

清洗筐1向上拋動時，重力傳動墜8帶動齒條7相對清洗筐1向下運動，齒條7帶動轉動軸上的齒輪6轉動，但由于軸承5為單向軸承，所以此時與硅片3接觸的轉動軸4不轉動。

清洗筐1向下拋動時，重力傳動墜8帶動齒條7運動但受到清洗槽底部阻擋，相對清洗筐1向上運動，齒條7帶動轉動軸上的齒輪6轉動，此時與硅片3接觸的轉動軸4隨齒輪6一起轉動，帶動片籃2內硅片3旋轉。

清洗筐1循環上下拋動運動，硅片3在片籃2內進行單向旋轉，從而實現硅片3的各個位置都可以均勻接受超聲作用，有效防止出現清洗死角。

以上對本發明創造的一個實施例進行了詳細說明，但所述內容僅為本發明創造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發明創造的實施范圍。凡依本發明創造申請范圍所作的均等變化與改進等，均應仍歸屬于本發明創造的專利涵蓋范圍之內。