[發明專利]一種硅片清洗筐在審
| 申請號： | 201510307101.8 | 申請日： | 2015-06-04 |
| 公開（公告）號： | CN104826850A | 公開（公告）日： | 2015-08-12 |
| 發明（設計）人： | 邢玉軍;蘇榮義;趙勇;孫紅永;張全紅 | 申請（專利權）人： | 天津市環歐半導體材料技術有限公司 |
| 主分類號： | B08B13/00 | 分類號： | B08B13/00;B08B3/12 |
| 代理公司： | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉華 |
| 地址： | 300384 天津市濱海新區*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 清洗 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片清洗筐，包括清洗筐和片籃，所述片籃置于清洗筐底部，所述片籃內排放有硅片，其特征在于：還包括轉動軸、軸承、齒輪、齒條和重力傳動墜，所述轉動軸、軸承和齒輪由內向外依次套裝，所述轉動軸固定在清洗筐內片籃所在位置的底部，所述齒條與齒輪嚙合，所述齒條下端與重力傳動墜連接，所述轉動軸與排放在片籃內的硅片相接觸。
2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗筐，其特征在于：所述軸承為單向軸承。
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