[發(fā)明專利]具有環(huán)狀磁體的磁性傳感器設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510301844.4
• 申請日: 2015-06-05
• 公開（公告）號: CN105277217B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: I.博爾曼;K.埃利安;A.施皮爾鮑爾;H.托伊斯
• 申請（專利權(quán)）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01D5/12
• 分類號: G01D5/12
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 王岳;胡莉莉

具有環(huán)狀磁體的磁性傳感器設(shè)備。一種磁性傳感器設(shè)備包括環(huán)狀磁體和布置在環(huán)狀磁體的開口中的傳感器芯片。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及磁性傳感器設(shè)備和用于制造磁性傳感器設(shè)備的方法。

背景技術(shù)

可以例如將磁性傳感器設(shè)備配置成測量磁性齒輪的速度。此類磁性速度傳感器通常包括具有多個(gè)磁性傳感器元件的集成電路，所述磁性傳感器元件諸如霍爾傳感器元件或磁阻（XMR）元件，例如巨磁阻（GMR）傳感器元件或各向異性磁阻（AMR）傳感器元件。永磁體向傳感器元件提供偏置磁場。隨著輪子旋轉(zhuǎn)，輪子的齒在傳感器前面通過并生成小的場變化，其被傳感器檢測并被集成電路處理。檢測的場包含關(guān)于輪子的角位置和旋轉(zhuǎn)速度的信息。關(guān)于此類磁性傳感器設(shè)備的制造，存在朝著減少或簡化制造步驟，特別是減少拾取和放置步驟或模具步驟（mold step）的穩(wěn)定的需求。另一穩(wěn)定的需求涉及磁性傳感器設(shè)備封裝的尺寸和永磁體的形狀的可變性，因?yàn)榭赡芷谕峁┚哂刑囟ㄐ螤畹挠来朋w，從而提供具有特定期望場分布的永久性磁場。

附圖說明

包括附圖是為了提供對實(shí)施例的進(jìn)一步理解并將其結(jié)合在本說明書中且構(gòu)成本說明書的一部分。附圖圖示出實(shí)施例并連同描述一起用于解釋實(shí)施例的原理。將容易地認(rèn)識到其它實(shí)施例和實(shí)施例的預(yù)定優(yōu)點(diǎn)中的許多，因?yàn)橥ㄟ^參考以下詳細(xì)描述它們變得更好理解。附圖的元件不一定相對于彼此按比例。相似的參考數(shù)字指定對應(yīng)的類似部分。

圖1示出了示例性磁性傳感器設(shè)備（上部）及其示例性環(huán)狀磁體（下部）的示意性側(cè)視圖表示。

圖2A和2B示出了具有圓形環(huán)狀磁體的示例性磁性傳感器設(shè)備（2A）和具有矩形環(huán)狀磁體的示例性磁性傳感器設(shè)備（2B）的頂視圖表示。

圖3A—D示出了示例性磁性傳感器設(shè)備、特別是包括階梯式引線框架的磁性傳感器設(shè)備（3A）、包括扁平引線框架的磁性傳感器設(shè)備（3B）、包括兩個(gè)引線框架區(qū)段的磁性傳感器設(shè)備（3C）以及包括兩個(gè)環(huán)狀磁體的磁性傳感器設(shè)備的示意性截面?zhèn)纫晥D表示。

圖4示出了包括重新分布層的示例性磁性傳感器設(shè)備的示意性截面?zhèn)纫晥D表示。

圖5示出了用于圖示出用于制造磁性傳感器設(shè)備的示例性方法的包括多個(gè)示例性磁性傳感器設(shè)備的重新配置晶片的頂視圖表示。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在參考附圖來描述各方面和各實(shí)施例，其中，通常自始至終利用相似的參考數(shù)字來指代相似的元件。在以下描述中，出于說明的目的，闡述了許多特定細(xì)節(jié)以便提供對實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面的透徹理解。然而，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言可以顯而易見的是可用較少程度的特定細(xì)節(jié)來實(shí)施實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面。在其它情況下，以示意性形式示出了已知結(jié)構(gòu)和元件以便便于描述實(shí)施例的一個(gè)或多個(gè)方面。應(yīng)理解的是在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可利用其它實(shí)施例，并且可進(jìn)行結(jié)構(gòu)或邏輯改變。此外應(yīng)注意的是附圖并未按比例或者不一定按比例。

另外，雖然可能僅相對于多個(gè)實(shí)施方式中的一個(gè)公開了實(shí)施例的特定特征或方面，但可將此類特征或方面與對于任何給定或特定應(yīng)用而言可能期望且有利的其它實(shí)施方式的一個(gè)或多個(gè)其它特征或方面相組合。此外，在在詳細(xì)描述或權(quán)利要求中使用術(shù)語“包括”、“具有”、“帶有”或其其它變體的范圍內(nèi)，此類術(shù)語意圖以與術(shù)語“包括”類似的方式是包括性的。可使用術(shù)語“耦合”和“連接”以及派生詞。應(yīng)理解的是可使用這些術(shù)語來指示兩個(gè)元件相互合作或相互作用，而不管其是處于直接的物理或電氣接觸還是其并未相互直接接觸。并且，術(shù)語“示例性”僅僅意圖作為示例，而不是最好或最佳的。因此，不應(yīng)在限制性意義上理解以下詳細(xì)描述，并且由所附權(quán)利要求來定義本發(fā)明的范圍。