[發(fā)明專利]OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510299297.0
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN105088135B
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 匡友元
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所44265
• 代理人: 林才桂

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及有機發(fā)光二極管顯示器的制作領(lǐng)域，尤其涉及一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板。

背景技術(shù)

有機發(fā)光二級管顯示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)是一種極具發(fā)展前景的平板顯示技術(shù)，它具有十分優(yōu)異的顯示性能，特別是自發(fā)光、結(jié)構(gòu)簡單、超輕薄、響應(yīng)速度快、寬視角、低功耗及可實現(xiàn)柔性顯示等特性，被譽為“夢幻顯示器”，再加上其生產(chǎn)設(shè)備投資遠小于TFT-LCD，得到了各大顯示器廠家的青睞，已成為顯示技術(shù)領(lǐng)域中第三代顯示器件的主力軍。目前OLED已處于大規(guī)模量產(chǎn)的前夜，隨著研究的進一步深入，新技術(shù)的不斷涌現(xiàn)，OLED顯示器件必將有一個突破性的發(fā)展。

OLED具有依次形成于基板上的陽極、有機發(fā)光層和陰極。OLED各功能材料層與陰極金屬層薄膜通過真空熱蒸鍍工藝制備，即在真空腔體內(nèi)加熱有機小分子材料，使其升華或者熔融氣化成材料蒸汽，透過金屬掩膜板(Mask)的開孔沉積在玻璃基板上。掩膜板的作用是使OLED材料蒸鍍到設(shè)計的位置，因此掩膜板的開孔位置、形狀以及表面平整度都相當重要。

如圖1所示，現(xiàn)有掩膜板包括掩膜框架100和通過激光電焊固定在掩膜框架100上的掩膜200，焊點300位于掩膜框架100上。掩膜在使用一段時間后，上邊會沉積一定厚度的OLED材料，在重力作用下容易導(dǎo)致掩膜下垂變形，而且OLED材料也可能堵塞開孔，或者使開孔有效尺寸變小。所以，掩膜在使用一定的時間后，就需要進行清洗，甚至要更換一張新的掩膜。

當需要更換一張新的掩膜時，需要把原來的掩膜與掩膜邊框分離，去掉掩膜，并對掩膜邊框表面進行研磨拋光。因為原來的點焊位置應(yīng)該有凸起，需要將掩膜邊框表面研磨成平面(平面度在50微米內(nèi))。同時，在原來的點焊位置，焊接時的熱量也等于是給焊點位置進行了熱處理，導(dǎo)致點焊位置硬度變大，所以這一層硬化層也需要研磨去掉，以便不影響下一片掩膜的點焊效果，每對掩膜邊框的焊接面進行一次打磨，就要消耗一定厚度(0.1-1mm)。

這樣的情況下，如圖2、圖3所示，多次更換掩膜后，掩膜邊框100經(jīng)過多次拋光，厚度會逐漸變薄，中部下垂，不僅影響到邊框的結(jié)構(gòu)強度，使用時基板與掩膜存在一定空隙，也會影響到掩膜200在蒸鍍設(shè)備里的對位位置，導(dǎo)致OLED發(fā)光元件出現(xiàn)混色等品質(zhì)不良。所以，掩膜邊框經(jīng)過研磨拋光一定的厚度后就需要報廢，并且掩膜邊框需要運輸?shù)接写笮蛼伖饽ゴ驳膹S家進行研磨拋光，比較耗時，所以需要制作多塊掩膜邊框備用，導(dǎo)致生產(chǎn)成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其掩膜邊框能夠重復(fù)多次使用，減少掩膜邊框的報廢量，提高掩膜邊框的利用率，同時能夠減少掩膜邊框的備份數(shù)量，節(jié)約材料及生產(chǎn)成本。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，包括掩膜邊框、固定于所述掩膜邊框上的插條、及固定于所述插條上的掩膜；

所述掩膜邊框包括四條邊，該四條邊圍攏出一對應(yīng)掩膜的開口；將所述掩膜邊框靠近掩膜一側(cè)的表面定義為上表面，掩膜邊框的每條邊上均設(shè)置一溝槽；

所述插條固定于所述溝槽內(nèi)，所述插條的上表面與所述溝槽的上表處于同一平面上；所述掩膜通過點焊固定于插條上，焊點位于插條上；

所述插條的上表面的寬度小于所述插條位于所述溝槽內(nèi)的寬度。

所述溝槽位于所述掩膜邊框的每條邊的中部，所述溝槽凹陷于所述掩膜邊框的上表面。

每條溝槽下方設(shè)有至少兩個第一通孔，所述插條對應(yīng)所述第一通孔設(shè)有一第一螺紋孔；一第一螺釘穿過所述第一通孔鎖合于第一螺紋孔內(nèi)，從而將所述插條固定于所述溝槽內(nèi)。

所述溝槽位于所述掩膜邊框的每條邊的外周，所述溝槽形成于所述掩膜邊框的上表面與外側(cè)面之間。

每條溝槽下方設(shè)有至少兩個第一通孔，所述插條對應(yīng)所述第一通孔設(shè)有一第一螺紋孔；每條插條在其寬度方向上設(shè)有至少兩個第二通孔，所述溝槽側(cè)方對應(yīng)所述第二通孔設(shè)有第二螺紋孔；一第一螺釘穿過所述第一通孔鎖合于第一螺紋孔內(nèi)，一第二螺釘穿過所述第二通孔鎖合于第二螺紋孔內(nèi)，從而將所述插條固定于所述溝槽內(nèi)。

所述插條與所述溝槽在尺寸上形成緊密配合。

所述插條的橫截面為多邊形或帶有圓弧的多邊形。

所述插條的橫截面為梯形。

所述插條與所述掩膜邊框均為金屬材料。