[發明專利]OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板

有效

• 申請號: 201510299297.0
• 申請日: 2015-06-03
• 公開（公告）號: CN105088135B
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 匡友元
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，包括掩膜邊框(1)、固定于所述掩膜邊框(1)上的插條(3)、及固定于所述插條(3)上的掩膜(5)；

所述掩膜邊框(1)包括四條邊，該四條邊圍攏出一對應掩膜(5)的開口；將所述掩膜邊框(1)靠近掩膜(5)一側的表面定義為上表面，掩膜邊框(1)的每條邊上均設置一溝槽(11)；

所述插條(3)固定于所述溝槽(11)內，所述插條(3)的上表面與所述溝槽(11)的上表面處于同一平面上；所述掩膜(5)通過點焊固定于插條(3)上，焊點(7)位于插條(3)上；

所述插條(3)的上表面的寬度小于所述插條(3)位于所述溝槽(11)內的寬度；

所述溝槽(11)位于所述掩膜邊框(1)的每條邊的外周，所述溝槽(11)形成于所述掩膜邊框(1)的上表面與外側面之間；

每條溝槽(11)下方設有至少兩個第一通孔(13)，所述插條(3)對應所述第一通孔(13)設有螺紋孔(33)；每條插條(3)在其寬度方向上設有至少兩個第二通孔(35)，所述溝槽(11)側方對應所述第二通孔(35)設有第二螺紋孔(15)；一第一螺釘(91)穿過所述第一通孔(13)鎖合于第一螺紋孔(33)內，一第二螺釘(92)穿過所述第二通孔(35 )鎖合于第二螺紋孔(15)內，從而將所述插條(3)固定于所述溝槽(11)內。

2.如權利要求1所述的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，所述插條(3)與所述溝槽(11)在尺寸上形成緊密配合。

3.如權利要求2所述的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，所述插條(3)的橫截面為多邊形。

4.如權利要求3所述的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，所述插條(3)的橫截面為帶有圓弧的多邊形。

5.如權利要求3所述的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，所述插條(3)的橫截面為梯形。

6.如權利要求1所述的OLED材料真空熱蒸鍍用掩膜板，其特征在于，所述插條(3)與所述掩膜邊框(1)均為金屬材料。