[發明專利]一種異質結太陽能電池的制備方法及異質結太陽能電池

在審

• 申請號: 201510273756.8
• 申請日: 2015-05-26
• 公開（公告）號: CN104952964A
• 公開（公告）日: 2015-09-30
• 發明（設計）人: 郁操;張津燕;徐希翔
• 申請（專利權）人: 福建鉑陽精工設備有限公司
• 主分類號: H01L31/0747
• 分類號: H01L31/0747;H01L31/18
• 代理公司: 北京市清華源律師事務所 11441
• 代理人: 沈泳;李贊堅

1.一種異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括：

提供一襯底，在所述襯底的兩側設置本征層，形成異質結太陽能電池的第一結構；

通過等離子體對所述第一結構中的所述本征層界面去氧化處理，并在處理后的所述第一結構的兩側分別設置摻雜層，形成第二結構；

在所述第二結構的兩側分別形成透明導電層，作為前電極和后電極；或者在所述第二結構的一側形成透明導電層作為前電極，另一側形成透明導電氧化物與金屬復合層作為復合背電極。

2.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述通過等離子體對所述第一結構中的所述本征層界面去氧化處理，并在處理后的所述第一結構的兩側分別設置摻雜層，形成第二結構，具體為，將所述第一結構其中一側本征層的界面去氧化處理和設置摻雜層在同一腔室完成，將所述第一結構中的另一側本征層界面去氧化處理和設置摻雜層在另一同一腔室完成，或者，所述第一結構其中一側本征層的界面去氧化處理和設置摻雜層分別在不同腔室完成，所述第一結構中的另一側本征層界面去氧化處理和設置摻雜層分別在不同腔室完成。

3.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述等離子體采用氫等離子體或者氬等離子體。

4.根據權利要求3所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：采用所述氫等離子體刻蝕條件為：所述蝕刻溫度范圍為大于等于150度，小于等于250度。

5.根據權利要求4所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述氫等離子體的氣壓范圍為大于等于0.1mbar，小于等于1.0mbar。

6.根據權利要求4所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：向所述氫等離子體的流量范圍為大于等于200sccm，小于等于1200sccm。

7.根據權利要求4所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述氫等離子體的濺射功率范圍為大于等于100w，小于等于1000w；頻率范圍為大于等于13.56MHz，小于等于70MHz。

8.根據權利要求4所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述氫等離子的刻蝕時間范圍大于等于1秒，小于等于100秒。

9.根據權利要求8所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：所述氫等離子的刻蝕時間為20秒。

10.根據權利要求1所述的異質結太陽能電池的制備方法，其特征在于：在形成所述第二結構中，采用等離子體增強化學氣相沉積法或熱絲化學氣相沉積法去氧化處理。

11.一種異質結太陽能電池，其特征在于：異質結太陽能電池采用如上述權利要求1至10任意一項所述的異質結太陽能電池制備方法制備而成。