[發明專利]一種反射式化學藥液涂抹均勻性檢測方法及裝置

有效

• 申請號: 201510273553.9
• 申請日: 2015-05-26
• 公開（公告）號: CN105115429A
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 雷艷梅;張涵;于復生
• 申請（專利權）人: 雷艷梅
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/84
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種反射式化學藥液涂抹均勻性檢測方法，其特征在于：采用光柵片和CCD器件，將光柵片緊貼放置在涂有透明藥液的玻璃片的下方，應用CCD在與玻璃片的法線呈一定角度的上方位置拍攝透過玻璃片與透明藥液的光柵片上的條紋，通過分析條紋的變形情況來判別涂抹的透明藥液的厚度均勻性；此方法應用的光柵片上應刻印有相互平行、寬度與間距一致且黑白分明的條紋，若CCD拍攝到的圖像中的條紋仍平行且間距一致，說明涂抹在玻璃片上的透明藥液的厚度均勻；若圖像中的條紋有明顯的變形，或平行度發生改變，則說明涂抹的透明藥液的厚度不均勻；采用同種藥液，經標定后，可定量地檢測涂抹的藥液的厚度差值。

2.一種反射式化學藥液涂抹均勻性檢測裝置，是由光柵片與CCD組成的，其特征在于：光柵片貼緊放置在涂有透明藥液的厚度均勻的玻璃片的下方，CCD軸線與玻璃片的法線呈一定角度放置在玻璃片的上方，使透過玻璃片與透明藥液的光柵片的條紋圖像能完整地被CCD拍攝到。

3.如權利要求2所述一種反射式化學藥液涂抹均勻性檢測裝置，其特征在于:所述光柵片上印印的光柵條紋應相互平行、黑白相間、寬度與間距一致且黑白分明。