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[發明專利]多功能連續式真空等離子體鍍膜系統有效

專利信息
申請號: 201510260335.1 申請日: 2015-05-19
公開(公告)號: CN104862662B 公開(公告)日: 2018-04-20
發明(設計)人: 董小虹;王桂茂;區名結 申請(專利權)人: 廣東世創金屬科技股份有限公司
主分類號: C23C14/56 分類號: C23C14/56;C23C14/46
代理公司: 廣州廣信知識產權代理有限公司44261 代理人: 張文雄
地址: 510450 廣東省廣*** 國省代碼: 廣東;44
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摘要:
搜索關鍵詞: 多功能 連續 真空 等離子體 鍍膜 系統
【權利要求書】:

1.多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,包括放卷裝置(1)、收卷裝置(2)、真空等離子體鍍膜裝置(3)和控制裝置(10),其特征在于:放卷裝置(1)位于真空等離子體鍍膜裝置(3)的前面,收卷裝置(2)位于真空等離子體鍍膜裝置(3)的后面,三者為獨立分體結構;真空等離子體鍍膜裝置(3)的工件進、出口處各設有防泄氣結構(4),以阻止工藝氣氛外泄;在真空等離子體鍍膜裝置(3)的工件進口處設有工件末端檢測器(8),所述工件末端檢測器(8)的信號輸出端連接控制裝置(10)的信號輸入端,控制裝置(10)設有若干個信號輸出端,放卷裝置(1)、收卷裝置(2)的控制信號輸入端各連接控制裝置(10)的一個控制信號輸出端,以通過檢測工件的末端來控制放卷裝置(1)、收卷裝置(2)的送料和收料;放卷裝置(1)具有承載及輸送10-10000米卷材的結構,收卷裝置(2)具有承載及收卷10-10000米卷材的結構,卷材從放卷裝置(1)送出經過真空等離子體鍍膜裝置(3)鍍膜進入收卷裝置(2),整個過程保持卷材工件處于張緊狀態,形成連續式真空等離子體鍍膜系統;在真空等離子體鍍膜裝置(3)中設有弧電源、支撐架(6)、冷卻水進出管道(7)、真空獲得設備(11)和工藝氣進氣管道(12),在真空等離子體鍍膜裝置(3)的工件進口處設有導帶輥(9),帶狀工件(13)從放卷裝置(1)的出口輸出,經導帶輥(9)進入真空等離子體鍍膜裝置(3)的工藝段進行鍍膜處理,從真空等離子體鍍膜裝置(3)的工件出口輸出到收卷裝置(2);在放卷裝置中設有預熱,在工藝段設有加熱及保溫,構成連續式的加熱方式,使產品能預熱的同時還能一邊加熱一邊鍍膜。

2.根據權利要求1所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:在真空等離子體鍍膜裝置(3)的工件出口處設有編碼式測速器(5),編碼式測速器(5)的信號輸出端連接控制裝置(10)的信號輸入端,控制裝置(10)根據編碼測速信號控制收卷裝置(2)的收卷速度,構成連續式帶材鍍膜恒張力的控制結構,使卷材從放卷裝置(1)送出經過真空等離子體鍍膜裝置(3)鍍膜進入收卷裝置(2),整個過程始終保持卷材工件處于張緊狀態。

3.根據權利要求1所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:在放卷位置(1)的出口端設置光柵檢測器、以檢測帶材是否已經走到末端,光柵檢測器的信號輸出端連接控制裝置(10)的信號輸入端,形成工件末端檢測及監控結構。

4.根據權利要求2或3所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:所述放卷裝置(1)包括放卷輸入傳動電機(1-1)、放卷輸入減速機(1-2)、放卷聯軸器(1-3)、放卷磁流體密封裝置(1-4)、放卷齒輪變速箱(1-5)、放卷漲縮頭(1-6)、放卷控溫熱電偶(1-7)、放卷發熱管(1-8)和放卷真空殼體(1-9),在放卷真空殼體(1-9)上設有放卷真空殼體門(1-10)和放卷觀察孔(1-11)。

5.根據權利要求2或3所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:所述收卷裝置(2)包括收卷輸入傳動電機(2-1)、收卷輸入減速機(2-2)、收卷聯軸器(2-3)、收卷磁流體密封裝置(2-4)、收卷齒輪變速箱(2-5)、收卷漲縮頭(2-6)和收卷真空殼體(2-7),在收卷真空殼體上設有收卷真空殼體門(2-8)和收卷觀察孔(2-9)。

6.根據權利要求2或3所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:所述真空等離子體鍍膜裝置(3)包括工藝真空殼體(3-6)、工藝水冷套(3-2)、帶冷卻的連接法蘭套(3-3)、蓋板(3-4)、工藝熱電偶(3-5)、靶裝置及靶(3-7)、工藝發熱管(3-8)、真空計(3-9)、連接法蘭(3-10)和工藝進氣管道(3-11),在工藝真空殼體上設有工藝觀察孔(3-1)。

7.根據權利要求2或3所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:所述防泄氣結構(4)由可調式百頁窗構成。

8.根據權利要求1所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:在真空等離子體鍍膜裝置(3)設置兩條導軌和兩輛可拆卸的小車,所述小車上設有360°轉動機構,形成管材真空等離子體鍍膜裝置;所述小車包括行走輪子、傳動聯動機構和轉動輪、傘齒齒輪和小車行走傳動輸入電機。

9.根據權利要求1所述的多功能連續式真空等離子體鍍膜系統,其特征在于:在真空等離子體鍍膜裝置(3)設置多輛小車,構成小工件的真空等離子體鍍膜裝置;掛工件的小車包括行走導軌、行走輪子、傳動聯動機構、轉動傘齒、支撐架、齒輪、傳動桿和齒輪、聯動齒輪、工件傳動桿和軸承。

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