[發明專利]提純三氯氫硅的方法有效
| 申請號： | 201510247059.5 | 申請日： | 2015-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN104828827B | 公開（公告）日： | 2017-03-08 |
| 發明（設計）人： | 姚國華;張艷春;李鋒;王洪光;白竟超;彭述才 | 申請（專利權）人： | 國電內蒙古晶陽能源有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201 | 代理人： | 李志東 |
| 地址： | 010321 內蒙古自治*** | 國省代碼： | 內蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 提純 三氯氫硅 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提純三氯氫硅的方法，其特征在于，包括：
將所述三氯氫硅進行冷卻處理，以便得到冷卻的三氯氫硅；
將所述冷卻的三氯氫硅在吸附塔內進行吸附處理，以便吸附硼和磷并得到精制三氯氫硅，
其中，吸附塔內填充有弱堿性聚合樹脂。
2.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述三氯氫硅的純度為99.99％。
3.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述冷卻的三氯氫硅溫度為不大于30攝氏度。
4.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述吸附處理的壓力為0.25～0.4MPa，溫度為不大于35攝氏度。
5.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述吸附處理的流速為2.3～3.45噸每小時。
6.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述弱堿性聚合樹脂的粒徑為0.6～0.8毫米，比表面積為33平方米每克。
7.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，所述精制三氯氫硅中硼的質量含量不高于0.18ppb，磷的質量含量不高于0.36ppb。
8.根據權利要求1所述提純三氯氫硅的方法，其特征在于，進一步包括：
將吸附所述硼和磷的弱堿性聚合樹脂進行活化處理，以便得到活化后的弱堿性聚合樹脂；
利用所述活化后的弱堿性聚合樹脂進行所述吸附處理。
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