[發明專利]芯片測試分選方法

在審

• 申請號: 201510246093.0
• 申請日: 2015-05-14
• 公開（公告）號: CN105467256A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 顧漢玉
• 申請（專利權）人: 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
• 主分類號: G01R31/01
• 分類號: G01R31/01
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種芯片測試分選方法，包括步驟：

S1.提供具有多個測試端口和多個通信接口的測試儀、以及具有多個工位和多個通信接口的分選機；

S2.通過通信電纜將測試儀的通信接口與分選機的通信接口一對一連接，并通過測試電纜將測試儀的多個測試端口與分選機的多個工位一對一連接；

S3.保留分選機的尚未通過測試的一個工位并關閉分選機的其他工位；

S4.測試當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系是否正確，

若測試出連接關系正確則當前保留的工位通過測試，再次進行S3步驟，直至所有工位都通過測試；

若測試出連接關系不正確則調整當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及/或當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系，然后繼續重復S4步驟；

S5.開啟分選機的所有工位，在分選機的多個工位上同時進行芯片的批量測試分選。

2.根據權利要求1所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述S2步驟是通過人工識別測試儀的測試端口和通信接口以及分選機的工位和通信接口，并通過人工將連接測試儀的通信接口與分選機的通信接口、以及測試儀的多個測試端口與分選機的多個工位一對一地連接。

3.根據權利要求1所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述S4步驟通過在當前保留的工位上測試已測完好的芯片來判斷當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系是否正確，

若所述完好的芯片通過測試，則當前保留的工位通過測試，再次進行S3步驟，直至所有工位都能使完好芯片通過測試后再進行S5步驟；

若所述完好的芯片沒有通過測試，則檢查并調整當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及/或當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系，然后繼續重復S4步驟。

4.根據權利要求1所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述S4步驟通過在當前保留的工位上測試預定數量的未測芯片來判斷當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系是否正確，

若所述預定數量的芯片中有芯片通過測試，則當前保留的工位通過測試，再次進行S3步驟，直至所有工位上都有芯片通過測試后再進行S5步驟；

若所述預定數量的芯片中沒有芯片通過測試，則檢查并調整當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及/或當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系，然后繼續重復S4步驟。

5.根據權利要求3或4所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述S4步驟測試每個芯片時包括步驟：在當前保留的工位上放置待測芯片，分選機通過通信電纜向測試儀發送開始信號，測試儀接收到開始信號后通過測試電纜測試連接至測試端口的待測芯片，測試儀將測試結果通過通信電纜發送給分選機。

6.根據權利要求5所述的芯片測試分選方法，其特征在于，待測試儀將測試結果通過通信電纜發送給分選機后，所述分選機根據測試儀發送的測試結果判斷該待測芯片是否通過測試。

7.根據權利要求1所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述分選機的每個工位為一個機械手，該機械手用于抓取待測芯片，該機械手通過測試電纜連接至測試儀的測試端口以達成被抓取的待測芯片與測試儀測試端口之間的電連接。

8.根據權利要求1所述的芯片測試分選方法，其特征在于，所述S5步驟在分選機的多個工位上同時進行芯片的批量測試分選時包括步驟：在每個工位上放置一個待測芯片，分選機通過通信電纜向測試儀發送開始信號，測試儀接收到開始信號后通過測試電纜測試連接至各測試端口的各待測芯片，測試儀將各待測芯片的測試結果通過通信電纜發送給分選機。

9.根據權利要求8所述的芯片測試分選方法，其特征在于，待測試儀將各待測芯片的測試結果通過通信電纜發送給分選機后，所述分選機根據測試儀發送的測試結果判斷各待測芯片是否通過測試。

10.根據權利要求8所述的芯片測試分選方法，其特征在于，待分選機根據測試儀發送的測試結果判斷各待測芯片是否通過測試后，所述分選機根據各待測芯片是否通過測試而將各待測芯片分類放置。