[發明專利]芯片測試分選方法

在審

• 申請號: 201510246093.0
• 申請日: 2015-05-14
• 公開（公告）號: CN105467256A
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發明（設計）人: 顧漢玉
• 申請（專利權）人: 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
• 主分類號: G01R31/01
• 分類號: G01R31/01
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術領域

本發明涉及半導體器件測試領域，特別是涉及一種多工位半導體封裝芯片測試分選方法。

背景技術

隨著半導體制作及檢測工藝的不斷發展，分選機被廣泛應用于半導體器件的檢測過程中，以對半導體封裝芯片(IC)進行質量品質測試，分選出測試合格和不合格的成品。而隨著半導體封裝芯片的產能不斷提升，為了提高測試分選的效率，分選機通常具有多個工位，以對多個半導體封裝芯片同時測試和分選。

圖1舉例說明現有的多工位分選機與測試儀(ATE)的電連接關系。分選機包括四個通信接口1、2、3、4和與該四個通信接口一一對應的四個工位(本實施例中四個工位為四個機械手：機械手1、機械手2、機械手3、機械手4)，測試儀包括四個通信接口1、2、3、4和與該四個通信接口一一對應的四個測試端口：TEST1、TEST2、TEST3、TEST4。

在使用分選機及測試儀進行芯片測試分選時，測試儀的TEST1要通過測試電纜連接到機械手1，TEST2要通過測試電纜連接到機械手2，TEST3要通過測試電纜連接到機械手3，TEST4要通過測試電纜連接到機械手，分選機的四個通信接口和測試儀的四個通信接口也是通過通信電纜一一對應連接。上述電纜的連接是由人工完成，同時機械手、TESTS和通信接口都是人工識別，因此測試電纜及通信電纜的連接關系容易出錯，導致測試結果錯誤。

例如圖2所示，分選機的四個通信接口和測試儀的四個通信接口通過四條通信電纜連接的連接關系正確，而四個測試端口與四個機械手的測試電纜連接關系接錯。其中，第一工位機械手1的連到了TEST2，第二工位機械手2的連到了TEST1。假如TEST1測試是通過(PASS)，而TEST2測試是不通過(FAIL)，分選機會把第一工位機械手1的芯片分到PASS類中，把第二工位機械手2的芯片分到FAIL類中，但實際上TEST2測的是第一工位機械手1上的芯片，這樣就會導致PASS類中會有FAIL的產品。同樣，如果通信電纜接錯而連接機械手與測試端口的測試電纜連接正確也會產生這誤分類結果。

發明內容

基于此，有必要針對上述因多工位分選機電纜連接錯誤而導致的誤分類問題，提供一種避免誤分類的芯片測試分選方法。

一種芯片測試分選方法，包括步驟：

S1.提供具有多個測試端口和多個通信接口的測試儀、以及具有多個工位和多個通信接口的分選機；

S2.通過通信電纜將測試儀的通信接口與分選機的通信接口一對一連接，并通過測試電纜將測試儀的多個測試端口與分選機的多個工位一對一連接；

S3.保留分選機的尚未通過測試的一個工位并關閉分選機的其他工位；

S4.測試當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系是否正確，

若測試出連接關系正確則當前保留的工位通過測試，再次進行S3步驟，直至所有工位都通過測試；

若測試出連接關系不正確則調整當前保留的工位與測試儀測試端口的測試電纜連接關系以及/或當前保留的工位對應的分選機通信接口與相應的測試儀通信接口之間的通信電纜連接關系，然后繼續重復S4步驟；

S5.開啟分選機的所有工位，在分選機的多個工位上同時進行芯片的批量測試分選。

由于電纜連接出錯，只會在多工位分選機測試時才會出現，而單工位分選機中連接機械手的電纜和通信電纜連接關系都是唯一的，具有唯一性，因此單工位不會出現因電纜連接錯誤而導致的誤分類問題。

上述芯片測試分選方法，在多工位測試開始時，先利用單工位的電纜連接關系唯一性，對分選機的各個工位依次進行單工位芯片測試，來檢驗電纜連接關系的正確性，待確保分選機所有工位對應的電纜連接關系正確后，再同時利用多個工位進行正式的芯片檢測分選，有效地避免因多工位分選機電纜連接錯誤而導致的誤分類問題。

在其中一個實施例中，所述S2步驟是通過人工識別測試儀的測試端口和通信接口以及分選機的工位和通信接口，并通過人工將連接測試儀的通信接口與分選機的通信接口、以及測試儀的多個測試端口與分選機的多個工位一對一地連接。