[發明專利]流量傳感器的檢查方法和檢查系統

在審

• 申請號: 201510245823.5
• 申請日: 2015-05-14
• 公開（公告）號: CN105157793A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 安田忠弘;白井隆
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 王玉玲;李雪春

技術領域

本發明涉及用于檢查通過流量傳感器測定的流量值所含的、至少時間延遲的流量傳感器的檢查方法和檢查系統。

背景技術

從流量傳感器輸出的測定流量值，有時會相對于實際流量值產生時間延遲。需要進行檢測這種時間延遲的有無、或者按照消除時間延遲的方式調整流量傳感器的流量傳感器的檢查作業(參照專利文獻1(日本專利公開公報特開平9-16268號))。

關于流量傳感器的時間延遲的檢查具體如下進行。首先，將檢查對象的流量傳感器、作為基準的流量傳感器、以及用于使流道內產生規定的壓力的流阻設置在同一流道上來構成檢查系統，使流過該流道的流體的流量產生變化。接著，把在流量發生變化時從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數據、與由作為基準的流量傳感器測定的基準流量值的時間系列數據進行比較，檢測有無相位差，或按照消除各時間系列數據的相位差的方式調整例如在所述檢查對象的流量傳感器上設定的微分系數等參數。

可是，在進行上述的這種檢查時，為了不含與各流量傳感器的輸出無關的噪聲等，要向流道內充以足夠壓力，在流道內的流體處于穩定的狀態后開始檢查。

可是，所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍設定在小流量區域時，能經由所述檢查對象的流量傳感器流入所述流道內的流體的流量，與流道的容積相比非常小。因此將流道內的壓力充壓到適于開始檢查時間延遲的壓力需要花費很多時間。

此外，使所述檢查對象的流量傳感器能穩定動作的流道的壓力，因其測定范圍而不同，但在目前的檢查系統中不依據檢查對象的流量傳感器而不同，而是充壓到大體相同壓力后進行檢查，因此難以對應所述檢查對象的流量傳感器進行最佳化。

發明內容

本發明鑒于上述問題，目的是提供一種能夠對應檢查對象的流量傳感器而向流道內充以適當的壓力、并且可以大幅縮短至檢查開始的等待時間的流量傳感器的檢查方法、檢查系統和存儲了檢查系統用程序的程序存儲介質。

即，本發明的檢查方法，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設置在具備上游側流道和在所述上游側流道的下游中分路的多個分路流道的流道結構中，所述檢查方法的特征在于，采用具備針對所述各分路流道分別設置的流阻、針對所述各分路流道分別設置的閥門以及測定所述流道結構中的流體的壓力或流量的流體傳感器的檢查系統，并具備閥門控制步驟，在根據所述流體傳感器的輸出檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設為多個敞開的狀態。

此外，本發明的檢查系統，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設置在具備上游側流道和在所述上游側流道的下游中分路的多個分路流道的流道結構中，所述檢查系統包括：針對所述各分路流道分別設置的流阻；針對所述各分路流道分別設置的閥門；測定所述流道結構中的流體的壓力或流量的流體傳感器；以及閥門開閉控制部，在根據所述流體傳感器的輸出檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設為多個敞開的狀態。

按照上述構成，由于所述各分路流道上分別設有流阻和閥門，所以在檢查所述檢查對象的流量傳感器時通過將所述各閥門設為多個敞開的狀態，即使所述流道結構中流過的流體的流量為少量，也可以在短時間內充壓到適于開始檢查的壓力。

更具體而言，將在所述各分路流道上設置的各閥門敞開多個，減小針對所述上游側流道的流道阻力時，可以使所述流道結構中的流體的狀態在低壓力下穩定。

因此，例如所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍為小流量區域，設定流量值小且流入所述上游側流道的流量比流道的容積小時，所述閥門開閉控制部按照所述流道阻力減小的方式增加各閥門中敞開的閥門的數量，能夠使流體在低壓下穩定，從而縮短在所述流道結構中充壓到能夠開始檢查時間延遲的壓力的時間。

為了不論所述檢查對象的流量傳感器的測定范圍如何都能在短時間內開始時間延遲的檢查，所述閥門開閉控制部至少對應作為流過所述流道結構的流體的流量的目標值的設定流量值，變更所述各閥門的開閉狀態的組合即可。

按照上述構成，所述閥門開閉控制部通過變更所述開閉狀態的組合，可以自由變更針對所述上游側流道的流道阻力的大小，使流體的狀態穩定，并改變能夠開始檢查的壓力。