[發明專利]流量傳感器的檢查方法和檢查系統

在審

• 申請號: 201510245823.5
• 申請日: 2015-05-14
• 公開（公告）號: CN105157793A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 安田忠弘;白井隆
• 申請（專利權）人: 株式會社堀場STEC
• 主分類號: G01F25/00
• 分類號: G01F25/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 王玉玲;李雪春

1.一種流量傳感器的檢查方法，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設置在具備上游側流道和在所述上游側流道的下游中分路的多個分路流道的流道結構中，所述流量傳感器的檢查方法的特征在于，

采用針對所述各分路流道分別設置的流阻、針對所述各分路流道分別設置的閥門，以及測定所述流道結構中的流體的壓力或流量的流體傳感器，

并具備閥門控制步驟，在根據所述流體傳感器的輸出來檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設為多個敞開的狀態。

2.一種流量傳感器的檢查系統，用于檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲，所述檢查對象的流量傳感器設置在具備上游側流道和在所述上游側流道的下游中分路的多個分路流道的流道結構中，所述流量傳感器的檢查系統的特征在于，包括：

針對所述各分路流道分別設置的流阻；

針對所述各分路流道分別設置的閥門；

測定所述流道結構中的流體的壓力或流量的流體傳感器；以及

閥門開閉控制部，在根據所述流體傳感器的輸出來檢查所述檢查對象的流量傳感器時，將所述各閥門設為多個敞開的狀態。

3.根據權利要求2所述的流量傳感器的檢查系統，其特征在于，

所述閥門開閉控制部至少對應作為流過所述流道結構的流體的流量的目標值的設定流量值，變更所述各閥門的開閉狀態的組合。

4.根據權利要求2所述的流量傳感器的檢查系統，其特征在于，

所述閥門開閉控制部以設定流量值越小、所述流道結構中的流體的壓力也越減小的方式，變更所述各閥門的開閉狀態的組合。

5.根據權利要求2所述的流量傳感器的檢查系統，其特征在于，

還具備流量傳感器調整部，其根據從所述檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數據、和從所述流體傳感器輸出的壓力或流量的測定值的時間系列數據，檢查從檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間延遲。

6.根據權利要求5所述的流量傳感器的檢查系統，其特征在于，

所述檢查對象的流量傳感器具備：輸出與流體的流量對應的電信號的感測機構；以及流量輸出部，其根據從所述感測機構輸出的電信號所示的值和規定的流量計算式輸出測定流量值，

所述流量計算式具有從所述感測機構輸出的電信號所示的值的微分值與作為針對所述微分值所乘的系數的微分系數的乘積的項，

所述流量傳感器調整部變更所述微分系數，使得從所述檢查對象的流量傳感器輸出的測定流量值的時間系列數據、與由所述流體傳感器測定的測定值的時間系列數據之間的相位差成為零。

7.根據權利要求2所述的流量傳感器的檢查系統，其特征在于，

所述檢查對象的流量傳感器是熱式的流量傳感器，

所述流體傳感器是壓力式的流量傳感器。