[發(fā)明專(zhuān)利]壓印裝置及物品制造方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510242920.9
• 申請(qǐng)日: 2015-05-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105093822A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宮島義一;川原信途
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 佳能株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/00
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/00;H01L21/027;B29C43/36;B29C59/02
• 代理公司: 北京怡豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍

1.一種壓印裝置，其通過(guò)使涂布在基板上的樹(shù)脂與模具接觸來(lái)在所述基板上形成圖案，所述壓印裝置包括：

基板保持部，其被構(gòu)造成保持所述基板，

其中，所述基板保持部包括在預(yù)定方向上布置的多個(gè)保持區(qū)域，并且

其中，所述多個(gè)保持區(qū)域的形狀被限定為能夠以第一外徑保持第一基板，并且能夠以與所述第一外徑不同的第二外徑保持第二基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置，其中，能夠保持所述第一基板的第一保持區(qū)域被包括在與能夠保持所述第二基板的第二保持區(qū)域相同的平面中。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印裝置，其中，所述多個(gè)保持區(qū)域還由在所述預(yù)定方向上布置的直線(xiàn)邊界限定。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印裝置，

其中，能夠保持所述第一基板的所述第一保持區(qū)域在所述預(yù)定方向的寬度尺寸根據(jù)在所述預(yù)定方向上的位置而不同，并且

其中，所述多個(gè)保持區(qū)域當(dāng)中的、具有不同寬度尺寸的兩個(gè)保持區(qū)域的面積比在0.8至1.2的范圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓印裝置，

其中，能夠保持所述第二基板的所述第二保持區(qū)域還由在所述預(yù)定方向上布置的直線(xiàn)邊界限定，并且

其中，所述直線(xiàn)邊界外接能夠保持所述第一基板的所述第一保持區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的壓印裝置，其中，所述基板保持部使用負(fù)壓來(lái)保持所述基板。

7.一種物品的制造方法，所述制造方法包括以下步驟：

使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓印裝置在基板上形成圖案，以及

對(duì)所述形成有圖案的基板進(jìn)行處理以制造所述物品。