[發明專利]壓電揚聲器及其形成方法

有效

• 申請號: 201510213255.0
• 申請日: 2015-04-29
• 公開（公告）號: CN104811881B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 鄒泉波;王喆
• 申請（專利權）人: 歌爾股份有限公司
• 主分類號: H04R17/00
• 分類號: H04R17/00;H04R31/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 蔡杰赟;吳敏

1.一種壓電揚聲器的形成方法，其特征在于，包括：

提供壓電致動器，所述壓電致動器包括壓電材料層和位于所述壓電材料層相對兩側的底電極和頂電極；

提供揚聲器盆架，所述揚聲器盆架包括基底和位于所述基底上的凸起結構；

在所述凸起結構的頂部形成焊料層；以及

將所述壓電致動器的底電極通過所述焊料層與所述揚聲器盆架相結合；

其中，所述壓電揚聲器具有后腔室，所述壓電材料層適于推動所述后腔室的空氣振動產生聲音，所述揚聲器盆架的基底具有貫穿其中的底部通孔，所述底部通孔的一端與所述后腔室連通。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述提供壓電致動器包括：

提供壓電材料襯底，在所述壓電材料襯底上形成頂電極；

提供支撐襯底，在所述支撐襯底上形成粘合劑層；

翻轉所述壓電材料襯底，將所述頂電極通過所述粘合劑層與所述支撐襯底結合；

減薄所述壓電材料襯底形成壓電材料層；

在所述壓電材料層上形成底電極。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括：在將所述壓電致動器的底電極通過所述焊料層與所述揚聲器盆架相結合后，去除所述支撐襯底和所述粘合劑層。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述壓電材料層為壓電陶瓷，厚度為3～50微米。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述底電極和所述頂電極的材料為Ti、Ag、Cr、Pt或者Au，厚度為0.01～0.5微米。

6.如權利要求2所述的方法，其特征在于，還包括：在所述頂電極上形成金屬基層，所述金屬基層通過所述粘合劑層與所述支撐襯底結合，所述金屬基層的材料為Ni、Cu或者TiW，厚度為1～20微米。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述凸起結構圍繞所述底部通孔。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，還包括：在所述基底與所述凸起結構相對的表面上設置第一電極，所述第一電極與所述凸起結構電學連接，從而通過所述凸起結構與所述壓電致動器的底電極電學連接。

9.如權利要求7所述的方法，其特征在于，還包括：在所述基底與所述凸起結構相對的表面上設置第二電極，并形成包裹所述壓電致動器和所述揚聲器盆架的外殼，所述第二電極與所述外殼電學連接，從而通過所述外殼與所述壓電致動器的頂電極電學連接。

10.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述壓電致動器覆蓋整個所述凸起結構圍成的區域。

11.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述壓電致動器覆蓋部分所述凸起結構圍成的區域。

12.如權利要求11所述的方法，其特征在于，所述凸起結構圍成矩形區域，所述壓電致動器的數量為兩個，所述兩個壓電致動器覆蓋所述矩形區域的兩側部分，暴露出中間部分。

13.如權利要求11所述的方法，其特征在于，還包括：在所述壓電致動器上形成振膜層，所述振膜層和所述壓電致動器共同覆蓋整個所述凸起結構圍成的區域。

14.一種壓電揚聲器，其特征在于，包括：

壓電致動器，所述壓電致動器包括壓電材料層和位于所述壓電材料層相對兩側的底電極和頂電極；

揚聲器盆架，所述揚聲器盆架包括基底和位于所述基底上的凸起結構；

位于所述凸起結構的頂部的焊料層；

其中，所述壓電致動器的底電極通過所述焊料層與所述揚聲器盆架相結合；所述壓電揚聲器具有后腔室，所述壓電材料層適于推動所述后腔室的空氣振動產生聲音，所述揚聲器盆架的基底具有貫穿其中的底部通孔，所述底部通孔的一端與所述后腔室連通。