[發明專利]角速度傳感器、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201510191208.0
• 申請日: 2015-04-21
• 公開（公告）號: CN105043371A
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 瀧澤照夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

技術領域

本發明涉及一種角速度傳感器、具備該角速度傳感器的電子設備以及移動體。

背景技術

一直以來，作為與繞三個檢測軸的角速度對應的角速度傳感器，已知一種如下結構的陀螺儀(以下，稱為角速度傳感器)，即，通過利用彈性結合元件(以下，稱為結合部)，而使被配置在基板上的多個驅動質量塊(以下，稱為質量部)互相結合，并利用驅動部而使至少一個質量部進行驅動運動(以下，稱為驅動振動)，從而使該驅動振動經由結合部而被傳遞至其它的質量部，并在多個質量部處于驅動振動的狀態下，利用被設置在多個質量部上的檢測部的檢測振動而對被施加的角速度進行檢測(例如，參照專利文獻1)。

上述角速度傳感器在實施方式中的結構為，通過利用驅動部而使兩個質量部(以下，稱為第一質量對)進行直接驅動振動，從而該驅動振動經由結合部而以預定的比率向余下的兩個質量部(以下，稱為第二質量對)傳遞，從而共計四個質量部進行驅動振動。

但是，在上述角速度傳感器中，上述預定的比率，例如因由具有彈性的結合部所引起的驅動振動能量的消耗等而可能無法成為大致1：1。

由此，在上述角速度傳感器中，從第一質量對經由結合部而被傳遞驅動振動的第二質量對的驅動振動中的振幅與利用驅動部而直接進行驅動振動的第一質量對的振幅相比而變小。

其結果為，在上述角速度傳感器中，由于角速度施加時的第二質量對的檢測部的檢測振動的振幅與第一質量對的檢測部的振幅相比而變小，因此四個質量部的利用檢測部而檢測出的繞三個檢測軸的角速度的、繞各自的檢測軸的檢測靈敏度上可能會出現差異。

由此，上述角速度傳感器可能存在檢測特性劣化的情況。

專利文獻1：歐州專利申請公開第2339293號說明書

發明內容

本發明為解決上述課題中的至少一部分而完成的發明，能夠作為以下的方式或應用例而實現。

應用例1

本應用例所涉及的角速度傳感器，其特征在于，具備：基板；多個質量部，其被配置在所述基板上；結合部，其將多個所述質量部中的相鄰的所述質量部相互結合；驅動部，其被配置在所述基板上，并連接于所述結合部，所述驅動部經由所述結合部而分別對相鄰的所述質量部進行驅動。

由此，角速度傳感器具備使相鄰的質量部相互結合的結合部、被連接于結合部的驅動部，并且驅動部經由結合部而分別對相鄰的質量部進行驅動。

由此，由于角速度傳感器能夠對相鄰的質量部以互相大致均等地進行驅動，因此能夠使驅動時的質量部的位移量(例如，驅動振動的振幅)互相大致相等。

其結果為，由于角速度傳感器能夠使角速度檢測時的各質量部的位移量(例如，檢測振動的振幅)互相大致相等，因此能夠減小角速度的各檢測軸間的檢測靈敏度的差。

由此，角速度傳感器能夠提高角速度的檢測特性。

應用例2

在上述應用例所涉及的角速度傳感器中，優選為，多個所述質量部包括：第一質量對，其以兩個所述質量部沿第一軸而相互對置的方式被配置；第二質量對，其以另外的兩個所述質量部沿在俯視觀察時與所述第一軸交叉的第二軸而相互對置的方式被配置，所述驅動部以如下方式對所述各質量部進行驅動，所述方式為，在所述第一質量對向相互靠近的方向位移時，所述第二質量對向相互離開的方向位移，并且在所述第一質量對向相互離開的方向位移時，所述第二質量對向相互靠近的方向位移的方式。

由此，在角速度傳感器中，驅動部以在第一質量對向相互靠近的方向位移時第二質量對向互相離開的方向位移、并且在第一質量對相互離開的方向位移時第二質量對向相互靠近的方向位移的方式，對各質量部進行驅動。

其結果為，由于在角速度傳感器中，通過驅動部而對驅動時的各質量部的位移的方式(換言之，驅動振動的振動模式)進行規定，從而能夠抑制例如驅動時的無用振動模式的產生。

由此，在角速度傳感器中，例如能夠省略對無用振動模式進行制限的頻率控制或簡單化。

應用例3

在上述應用例所涉及的角速度傳感器中，優選為，所述第一質量對中的至少一個所述質量部具有對繞所述第二軸的角速度進行檢測的第一檢測部，所述第二質量對中的至少一個所述質量部具有對繞所述第一軸的角速度進行檢測的第二檢測部，所述第一質量對與所述第二質量對中的至少一方的至少一個所述質量部具有第三檢測部，該第三檢測部對繞與沿所述第一軸與所述第二軸的平面交叉的第三軸的角速度進行檢測。

由此，在角速度傳感器中，通過各檢測部而能夠減小各檢測軸(第一軸～第三軸)間的檢測靈敏度的差，并且對繞三個檢測軸的角速度進行檢測。

應用例4