[發明專利]角速度傳感器、電子設備以及移動體

在審

• 申請號: 201510191208.0
• 申請日: 2015-04-21
• 公開（公告）號: CN105043371A
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 瀧澤照夫
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 北京金信知識產權代理有限公司 11225
• 代理人: 蘇萌萌;許梅鈺

1.一種角速度傳感器，其特征在于，具備：

基板；

多個質量部，其被配置在所述基板上；

結合部，其將多個所述質量部中的相鄰的所述質量部相互結合；

驅動部，其被配置在所述基板上，并且連接于所述結合部，

所述驅動部經由所述結合部而分別對相鄰的所述質量部進行驅動。

2.如權利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，

多個所述質量部包括：

第一質量對，其以兩個所述質量部沿著第一軸而相互對置的方式被配置；

第二質量對，其以另外的兩個所述質量部沿著在俯視觀察時與所述第一軸交叉的第二軸而相互對置的方式被配置，

所述驅動部以如下方式對各所述質量部進行驅動，所述方式為，在所述第一質量對向相互靠近的方向位移時，所述第二質量對向相互離開的方向位移，在所述第一質量對向相互離開的方向位移時，所述第二質量對向相互靠近的方向位移的方式。

3.如權利要求2所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述第一質量對中的至少一個所述質量部具有對繞所述第二軸的角速度進行檢測的第一檢測部，

所述第二質量對中的至少一個所述質量部具有對繞所述第一軸的角速度進行檢測的第二檢測部，

所述第一質量對與所述第二質量對中的至少一方的至少一個所述質量部具有第三檢測部，所述第三檢測部對繞與沿所述第一軸和所述第二軸的平面交叉的第三軸的角速度進行檢測。

4.如權利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，

多個所述質量部中的至少一個具備監控部，所述監控部對所述驅動時的所述質量部的位移進行監控。

5.如權利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述結合部被形成為，在相鄰的所述質量部間具有中心的圓弧狀，

所述驅動部具有：固定部，其含有所述圓弧的所述中心并被固定于所述基板上；

可動部，其將所述固定部與所述結合部連接，

所述可動部與所述結合部能夠以所述固定部為中心而進行轉動。

6.如權利要求5所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述驅動部具備；固定電極，其被設置于所述基板上；可動電極，其被設置在所述可動部上，

所述固定電極與所述可動電極具有相互嚙合的梳齒狀的電極指，

所述電極指被形成為以所述固定部為中心的圓弧狀。

7.如權利要求1所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述結合部在與所述質量部的連接部處具備應力緩解部。

8.如權利要求2所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述結合部被形成為，在相鄰的所述質量部間具有中心的圓弧狀，

所述驅動部具有：固定部，其含有所述圓弧的所述中心并被固定于所述基板上；

可動部，其將所述固定部與所述結合部連接，

所述可動部與所述結合部能夠以所述固定部為中心而進行轉動。

9.如權利要求8所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述驅動部具備：固定電極，其被設置于所述基板上；可動電極，其被設置在所述可動部上，

所述固定電極與所述可動電極具有相互嚙合的梳齒狀的電極指，

所述電極指被形成為，以所述固定部為中心的圓弧狀。

10.如權利要求2所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述結合部在與所述質量部的連接部處具備應力緩解部。

11.如權利要求3所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述結合部被形成為，在相鄰的所述質量部間具有中心的圓弧狀，

所述驅動部具有：

固定部，其包含所述圓弧的所述中心并被固定于所述基板上；

可動部，其將所述固定部與所述結合部連接，

所述可動部與所述結合部能夠以所述固定部為中心而進行轉動。

12.如權利要求11所述的角速度傳感器，其特征在于，

所述驅動部具備：固定電極，其被設置于所述基板上；可動電極，其被設置在所述可動部上，

所述固定電極與所述可動電極具有相互嚙合的梳齒狀的電極指，

所述電極指被形成為，以所述固定部為中心的圓弧狀。