[發明專利]一種快速檢測SiO2膜厚及膜層致密性的方法在審
| 申請號： | 201510188221.0 | 申請日： | 2015-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN104865178A | 公開（公告）日： | 2015-08-26 |
| 發明（設計）人： | 胡超川;傅強;李加海;朱磊;金艷芳;王丹 | 申請（專利權）人： | 安徽立光電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N17/00 | 分類號： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 安徽信拓律師事務所 34117 | 代理人： | 鞠翔 |
| 地址： | 239200 安徽省滁州*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快速 檢測 sio sub 致密 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種快速檢測SiO2膜厚及膜層致密性的方法，其特征在于，測試方法步驟如下：
1)酸液準備
選取分析純，配制比例為HF：HNO3：DI水＝2.4％：1.6％：96％，將配置好的酸液存放于塑料杯中；
2)臺階制作
將待檢測的樣片切割成小片，并在其表面平行粘貼兩條膠帶，制作成臺階，兩膠帶間距為1mm，膠帶沿同一方向壓實，要保持臺階邊緣平整；
3)酸液加熱
開啟水浴鍋加熱，將溫度設定為30℃，并將盛有酸液的塑料杯放入加熱；通過溫度計確認酸液的溫度達30±2℃，方可開始實驗；溫度確認時眼睛視線應垂直于溫度計刻度線；
4)SiO2膜層致密性評價
玻璃SiO2膜層在酸液中反應速率明顯慢于玻璃的反應速率，玻璃蝕刻速率為SiO2膜蝕刻速率為將制作好的臺階置于指定溫度的酸液中浸泡，檢測蝕刻速率時浸泡時間規定為50s、70s、90s、110s，推斷SiO2膜厚時實驗時間根據實驗情況決定，起始時間定為50s，90s內深度≤為合格。
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