[發明專利]研磨方法和保持器具

在審

• 申請號: 201510145698.0
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號: CN104972387A
• 公開（公告）日: 2015-10-14
• 發明（設計）人: 大月伸悟;淺野宏
• 申請（專利權）人: 福吉米株式會社
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種研磨方法，其具有這樣的研磨工序：

在將保持在保持器具上的研磨對象物的研磨面按壓接觸于研磨墊的狀態下，在向研磨墊上供給研磨用組合物的同時使所述保持器具和所述研磨墊相對旋轉，從而對所述研磨對象物的研磨面進行研磨，該研磨方法的特征在于，

在所述研磨工序中，保持在所述保持器具上的所述研磨對象物維持著所述研磨對象物的研磨面與所述研磨墊相對的狀態地旋轉，改變所述研磨對象物的朝向。

2.根據權利要求1所述的研磨方法，其中，

所述研磨工序包含這樣的過程：

在暫時停止對所述研磨對象物的研磨面進行研磨的操作而改變了所述研磨對象物的朝向之后，再次開始對所述研磨對象物的研磨面進行研磨的操作。

3.根據權利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨對象物是保持在所述保持器具上的多個研磨對象物之一。

4.根據權利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨對象物的研磨面呈曲面狀，

在將所述研磨對象物按壓于所述研磨墊而使所述研磨墊變形為追隨曲面狀的研磨面的形狀的同時對所述研磨對象物的研磨面進行研磨。

5.根據權利要求4所述的研磨方法，其中，

在所述保持器具和所述研磨對象物之間配置間隔物，在使所述研磨對象物的研磨面朝向所述研磨墊突出的狀態下進行所述研磨工序。

6.根據權利要求1或2所述的研磨方法，其中，

所述研磨對象物的研磨面由多個面構成，

在將所述研磨對象物按壓于所述研磨墊而使所述研磨墊變形為追隨由所述多個面構成的研磨面的形狀的同時對所述研磨對象物的研磨面進行研磨。

7.根據權利要求6所述的研磨方法，其中，

在所述保持器具和所述研磨對象物之間配置間隔物，在使所述研磨對象物的研磨面朝向所述研磨墊突出的狀態下進行所述研磨工序。

8.一種保持器具，其應用于這樣的研磨方法：在將保持在保持器具上的研磨對象物的研磨面按壓接觸于研磨墊的狀態下，在向研磨墊上供給研磨用組合物的同時使所述保持器具和所述研磨墊相對旋轉，從而對所述研磨對象物的研磨面進行研磨，該保持器具的特征在于，

所述保持器具包括：

研磨頭，其用于保持所述研磨對象物；以及

旋轉機構，其維持著所述研磨對象物的研磨面與所述研磨墊相對的狀態地使保持在所述研磨頭上的所述研磨對象物旋轉，改變所述研磨對象物的朝向。

9.根據權利要求8所述的保持器具，其中，

所述旋轉機構包括用于固定所述研磨對象物的旋轉臺。

10.根據權利要求9所述的保持器具，其中，

所述保持器具還包括配置在所述旋轉臺和所述研磨對象物之間且使所述研磨對象物的研磨面朝向研磨墊突出的間隔物。

11.根據權利要求9或10所述的保持器具，其中，

所述旋轉臺以自所述研磨頭朝向所述研磨墊突出的方式設置。

12.根據權利要求8～10中任一項所述的保持器具，其中，

所述研磨頭構成為能夠保持多個研磨對象物。