[發明專利]一種金剛石表面鍍非磁性金屬層的制作方法在審
| 申請號： | 201510132790.3 | 申請日： | 2015-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN104762598A | 公開（公告）日： | 2015-07-08 |
| 發明（設計）人： | 劉建設;郭松;孟為民;劉超超;王飛山;劉拾霞;曹河周 | 申請（專利權）人： | 河南黃河旋風股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C23C14/18 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 461500 河*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 金剛石 表面 磁性 金屬 制作方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種金剛石表面鍍非磁性金屬層的制作方法，它在金剛石真空鍍膜機中進行，它包括以下步驟：
a、首先將金剛石置于真空離子鍍膜機的鍍膜室中，將鍍膜室抽真空至2×10-3Pa，用5KV離子源對金剛石清潔處理30分鐘；
b、用非磁性金屬材料做靶材，所述的非磁性金屬材料是指鈦、鎢、鉬、鉻，靶材為陰極，金剛石粉體為陽極，調節真空離子鍍膜機的參數為：
電壓：????????350—450V；
直流電流：????1.2A?-?1.4A；
偏轉電壓：????200—300V；
工作時間：????10800秒—12000秒；
高純氬氣流量：8—12毫升／秒；
溫度：????????溫度480—520°C；
并使金剛石處于移動翻轉移動的狀態。
2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征是：
所述步驟b的參數是：
電壓：????????400V；
偏轉電壓：????250V；
高純氬氣流量：10毫升／秒；
溫度：????????溫度500°C。
3.根據權利要求1或2所述的制作方法，其特征是：
所述的非磁性金屬材料鈦、鎢、鉬、鉻的含量純度為99.99%以上。
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