[發明專利]確認基板外形尺寸之方法有效
| 申請號： | 201510099918.0 | 申請日： | 2015-03-06 |
| 公開（公告）號： | CN104677279B | 公開（公告）日： | 2017-08-15 |
| 發明（設計）人： | 謝佩君;莊偉仲;張俊德;戴嘉駿 | 申請（專利權）人： | 業成光電（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所44287 | 代理人： | 胡海國 |
| 地址： | 518109 廣東省深圳市龍華新*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 確認 外形尺寸 方法 | ||
1.一種確認基板外形尺寸之方法，用于檢測一基板之外形尺寸，其特征在于，該方法包括：
提供一罩幕，該罩幕上是具有對應該基板之外形尺寸之一規格；
利用具有該規格之該罩幕在該基板上形成一外圈標志與一內圈標志；
以直接目測的方式檢測該基板上是否具有該外圈標志或該內圈標志，確認該基板之外形尺寸是否符合該規格；
該罩幕是為一光罩，該外圈標志或該內圈標志是透過一微影制程以形成于該基板上。
2.如權利要求1所述之方法，其特征在于，該規格是包括一第一邊界與一第二邊界，該第一邊界是用以定義該基板之外形尺寸之一上限，該第二邊界是用以定義該基板之外形尺寸之一下限。
3.如權利要求2所述之方法，其特征在于，該基板上僅具有該內圈標志時，該基板之外形尺寸是符合該規格。
4.如權利要求2所述之方法，其特征在于，該基板上是同時具有該外圈標志與該內圈標志時，該基板之外形尺寸是超過該上限。
5.如權利要求2所述之方法，其特征在于，該基板上不具有該外圈標志與該內圈標志時，該基板之外形尺寸是低于該下限。
6.如權利要求1所述之方法，其特征在于，該基板是可為一玻璃基板。
7.如權利要求1所述之方法，其特征在于，該基板上之該外圈標志與該內圈標志之材質是可為金屬、光阻或透明導電層。
8.如權利要求2所述之方法，其特征在于，該第一邊界與該第二邊界是可由實線、虛線或復數個點所形成。
9.如權利要求1所述之方法，其特征在于，該基板之外形尺寸是可包括有至少一直線、曲角或孔洞。
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