[發(fā)明專利]薄膜法蘭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510095096.9 | 申請日： | 2015-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN104728543B | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱東輝;王海靜;賀華艷;王梓豪;屈化民;康玲 | 申請（專利權(quán)）人： | 東莞中子科學(xué)中心 |
| 主分類號： | F16L23/032 | 分類號： | F16L23/032 |
| 代理公司： | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11435 | 代理人： | 孟阿妮,郭棟梁 |
| 地址： | 廣東省東莞市松山湖*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 薄膜 法蘭 | ||
1.一種薄膜法蘭，其特征在于，包括：法蘭盤、真空槽、環(huán)狀的薄膜和進(jìn)氣孔，其中：
所述進(jìn)氣孔貫通所述法蘭盤，所述真空槽位于所述法蘭盤的端面；
所述薄膜與所述法蘭盤焊接固定，且所述薄膜與所述法蘭盤的連接處為一定角度的倒角，所述倒角處薄膜與法蘭盤相吻合；
所述薄膜封蓋于所述進(jìn)氣孔上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述真空槽為環(huán)形凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述法蘭盤內(nèi)設(shè)有兩個(gè)所述進(jìn)氣孔；且兩所述進(jìn)氣孔分置于所述真空槽的兩側(cè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述真空槽的縱截面為等腰梯形或矩形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述倒角與所述法蘭盤端面的夾角為4°-6°。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述法蘭盤的周面靠近所述倒角處設(shè)有應(yīng)力槽；
所述應(yīng)力槽為環(huán)形凹槽，且所述應(yīng)力槽以所述法蘭盤的中心為圓心，與所述真空槽呈同心圓分布。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述真空槽連接有真空孔，所述真空孔連接有真空管。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的薄膜法蘭，其特征在于：
所述法蘭盤上背對所述真空槽的一側(cè)設(shè)有至少一圈凸起。
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