[發(fā)明專利]濾光器、光學(xué)模塊及電子設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510090065.4
• 申請(qǐng)日: 2015-02-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104880817A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 新東晉;北原浩司;坂下友樹(shù)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛(ài)普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G02B26/00
• 分類號(hào): G02B26/00
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 余剛;吳孟秋

本申請(qǐng)根據(jù)于2014年2月28日提交的日本專利申請(qǐng)No.2014-038179的內(nèi)容，其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于此作為參考。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及濾光器、光學(xué)模塊及電子設(shè)備。

背景技術(shù)

目前使用一種從入射光中選擇指定波長(zhǎng)的光并使其通過(guò)的濾光器。并且，專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了使指定波長(zhǎng)的光通過(guò)的濾光器。該濾光器中，對(duì)向配置一對(duì)基板，在上述基板的對(duì)向面上分別設(shè)置有反射膜。

該濾光器選擇性地取出與對(duì)向的一對(duì)反射膜間的間隙對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光。通過(guò)設(shè)置于基板間的分隔膜的厚度設(shè)定反射膜間的間隙。

在基板上設(shè)置氧化鈦的基膜，與該膜重疊而設(shè)置反射膜。將反射率良好的銀膜用于反射膜。銀膜當(dāng)暴露于空氣中時(shí)會(huì)受到硫化或濕度的影響而劣化。因此，覆蓋反射膜而設(shè)置保護(hù)膜，防止反射膜的劣化。將SiO₂、TiO₂、ZnS、CaF₂、SiN₄、Al₂O₃等的無(wú)機(jī)物質(zhì)或聚酰亞胺、各種光刻膠等的有機(jī)材料用于該保護(hù)膜。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)平1-300202號(hào)公報(bào)

用于反射膜的銀或銀合金的膜為金屬組織的排列易于變位的膜。并且，當(dāng)在反射膜的表面和里面產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差時(shí)，出現(xiàn)被稱為“小丘(hillock)”或“晶須(whisker)”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在專利文獻(xiàn)1中，雖然反射膜被基膜和保護(hù)膜夾著，但沒(méi)有采取對(duì)于兩面的應(yīng)力差的對(duì)策。因此，希望一種能夠長(zhǎng)期地抑制反射膜的兩面中的內(nèi)部應(yīng)力之差而導(dǎo)致的突起的出現(xiàn)、能夠高精度地使規(guī)定的波長(zhǎng)的光透過(guò)的構(gòu)造的濾光器。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了解決上述的問(wèn)題而通過(guò)以下的方式或者適用例而實(shí)現(xiàn)。

[適用例1]

本適用例涉及的濾光器的特征在于具備：固定基板；可動(dòng)部，與所述固定基板對(duì)向配置；第一反射膜，設(shè)置于所述固定基板；第二反射膜，設(shè)置于所述可動(dòng)部，所述第二反射膜與所述第一反射膜對(duì)向；以及間隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一個(gè)被第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜夾著，所述第一導(dǎo)電膜和所述第二導(dǎo)電膜是相同材質(zhì)、相同膜厚。

根據(jù)本適用例，濾光器具備固定基板和可動(dòng)部。第一反射膜設(shè)置于固定基板，第二反射膜設(shè)置于可動(dòng)部。第一反射膜和第二反射膜對(duì)向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之間產(chǎn)生光的多重反射，相位配合的光向入射光行進(jìn)的方向透過(guò)并行進(jìn)。間隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的間隔。由此，濾光器能夠控制透過(guò)的光的波長(zhǎng)。

夾著反射膜而設(shè)置導(dǎo)電膜。通過(guò)導(dǎo)電膜，能夠防止反射膜的表面受到損傷。因此，能夠高品質(zhì)地制造濾光器。并且，由于導(dǎo)電膜具有導(dǎo)電性，因此，能夠抑制在導(dǎo)電膜的表面產(chǎn)生靜電。因此，能夠高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之間的距離。

第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜為相同材質(zhì)、相同膜厚。當(dāng)不在反射膜的第一面設(shè)置導(dǎo)電膜、不在第二面設(shè)置導(dǎo)電膜時(shí)，反射膜中的第一面和第二面的應(yīng)力分布為不同的分布。此時(shí)，在反射膜中，當(dāng)在第一面和第二面產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差時(shí)，出現(xiàn)被稱為“小丘”或“晶須”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本適用例中，夾著反射膜的第一導(dǎo)電膜及第二導(dǎo)電膜為相同材質(zhì)、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面難以產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差，因此，能夠抑制突起的出現(xiàn)。其結(jié)果是，濾光器能夠長(zhǎng)期地高精度地使規(guī)定的波長(zhǎng)的光透過(guò)。

[適用例2]

在上述適用例涉及的濾光器中，所述第一導(dǎo)電膜和所述第二導(dǎo)電膜是相同形狀。

根據(jù)本適用例，第一導(dǎo)電膜和第二導(dǎo)電膜為相同形狀。因此，夾著反射膜的第一導(dǎo)電膜及第二導(dǎo)電膜為相同的應(yīng)力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面難以產(chǎn)生內(nèi)部應(yīng)力之差，因此，能夠抑制突起的出現(xiàn)。

[適用例3]

在上述適用例涉及的濾光器中，其特征在于，所述第一導(dǎo)電膜及所述第二導(dǎo)電膜的材質(zhì)包含IGO。

根據(jù)本適用例，第一導(dǎo)電膜及第二導(dǎo)電膜的材質(zhì)包含IGO。IGO的光透過(guò)性良好，在可視區(qū)域具有大致80％以上的透過(guò)性。因此，能夠高效率地使規(guī)定的波長(zhǎng)的光通過(guò)。

[適用例4]

在上述適用例涉及的濾光器中，所述第一反射膜和所述第二反射膜被電連接。