[發明專利]濾光器、光學模塊及電子設備在審
| 申請號: | 201510090065.4 | 申請日: | 2015-02-27 |
| 公開(公告)號: | CN104880817A | 公開(公告)日: | 2015-09-02 |
| 發明(設計)人: | 新東晉;北原浩司;坂下友樹 | 申請(專利權)人: | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號: | G02B26/00 | 分類號: | G02B26/00 |
| 代理公司: | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 余剛;吳孟秋 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濾光 光學 模塊 電子設備 | ||
1.一種濾光器,其特征在于,具備:
固定基板;
可動部,與所述固定基板對向配置;
第一反射膜,設置于所述固定基板;
第二反射膜,設置于所述可動部,所述第二反射膜與所述第一反射膜對向;以及
間隔控制部,控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔,
所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一個被第一導電膜和第二導電膜夾著,所述第一導電膜和所述第二導電膜是相同材質、相同膜厚。
2.根據權利要求1所述的濾光器,其特征在于,所述第一導電膜和所述第二導電膜是相同形狀。
3.根據權利要求1或2所述的濾光器,其特征在于,所述第一導電膜及所述第二導電膜的材質包含鎵銦氧化物。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的濾光器,其特征在于,所述第一反射膜和所述第二反射膜被電連接。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的濾光器,其特征在于,具備:
第一外部端子,與所述第一反射膜連接;以及
第二外部端子,與所述第二反射膜連接。
6.一種光學模塊,其特征在于,具備:
權利要求1至5中任一項所述的濾光器;以及
收納部,收納所述濾光器。
7.一種電子設備,其特征在于,
所述電子設備具備濾光器、以及控制所述濾光器的控制部,
所述濾光器具備:
固定基板;
可動部,與所述固定基板對向配置;
第一反射膜,設置于所述固定基板;
第二反射膜,設置于所述可動部,所述第二反射膜與所述第一反射膜對向;以及
間隔控制部,控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔,
所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一個被第一導電膜和第二導電膜夾著,所述第一導電膜和所述第二導電膜是相同材質、相同膜厚。
8.一種濾光器,其特征在于,具備:
固定基板;
可動部,與所述固定基板對向配置;
第一反射膜,設置于所述固定基板;
第二反射膜,設置于所述可動部,所述第二反射膜與所述第一反射膜對向;以及
間隔控制部,控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的間隔,
所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一個被第一導電膜和第二導電膜夾著,所述第一導電膜和所述第二導電膜是相同的應力分布。
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