[發明專利]基板保持架、電鍍裝置以及電鍍方法

有效

• 申請號: 201510089989.2
• 申請日: 2015-02-27
• 公開（公告）號: CN104878435B
• 公開（公告）日: 2018-09-04
• 發明（設計）人: 矢島利一;矢作光敏;木村誠章
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: C25D17/06
• 分類號: C25D17/06;C25D7/12
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;舒艷君

1.一種基板保持架，其用于對基板進行保持，

所述基板保持架的特征在于，具有：

第一保持部件以及第二保持部件，它們夾入并保持所述基板；

基板保持面，其用于保持所述基板；以及

第一供電部件以及第二供電部件，它們構成為能夠向具備不同特征的基板供電，

所述第一供電部件具有朝向所述基板保持面的內側延伸并且配置在所述基板保持面的第一位置上的第一供電部件端部，

所述第二供電部件具有朝向所述基板保持面的內側延伸并且配置在所述基板保持面的第二位置上的第二供電部件端部，

所述第一位置相對于所述第二位置位于所述基板保持面的中心側，

所述第一供電部件端部以及所述第二供電部件端部構成為，當在所述第一保持部件與所述第二保持部件之間保持有所述基板時，與所述基板直接接觸。

2.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第一供電部件構成為能夠與所述第二供電部件分離。

3.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

至少一個所述第一供電部件端部與至少一個所述第二供電部件端部以沿著所述基板的圓周方向的方式交替鄰接地配置。

4.根據權利要求1所述的基板保持架，其特征在于，

所述第一供電部件端部以及/或者所述第二供電部件端部具有與所述基板接觸的凸起部。

5.一種基板保持架，其用于對基板進行保持，

所述基板保持架的特征在于，具有：

第一保持部件以及第二保持部件，它們夾入并保持所述基板；和

供電部件，該供電部件構成為與所述基板接觸，

所述供電部件具有：第一供電部件端部，其構成為與所述基板的第一位置接觸；和第二供電部件端部，其構成為與相對所述基板的所述第一位置靠徑向外側的所述基板的第二位置接觸，

所述第一供電部件端部構成為能夠與所述第二供電部件端部分離，

所述第一供電部件端部以及所述第二供電部件端部構成為，當在所述第一保持部件與所述第二保持部件之間保持有所述基板時，與所述基板直接接觸。

6.一種電鍍裝置，其特征在于，具有權利要求1～5中任一項所述的基板保持架。

7.一種電鍍方法，其具有：

使對第一基板或者與所述第一基板具備不同特征的第二基板進行保持的基板保持架與陽極在電鍍液內對置配置的工序；以及

對所述第一基板或者所述第二基板與陽極施加電壓的工序，

所述電鍍方法的特征在于，

所述基板保持架具有：第一保持部件以及第二保持部件，它們夾入并保持所述第一基板以及所述第二基板；和供電部件，該供電部件構成為與所述第一基板以及所述第二基板接觸，

所述供電部件具有：第一供電部件端部，其構成為與所述第一基板的前側平面部接觸；以及第二供電部件端部，其構成為與所述第二基板的前側斜面部或者前側肩部接觸，

所述第一供電部件端部以及所述第二供電部件端部構成為，當在所述第一保持部件與所述第二保持部件之間保持有所述第一基板或者所述第二基板時，與所述第一基板或者所述第二基板直接接觸。

8.根據權利要求7所述的電鍍方法，其特征在于，

所述第一基板是貼合基板，

所述第二基板是凸起或再布線形成用的基板。

9.根據權利要求7所述的電鍍方法，其特征在于，

所述第一基板是貼合基板，

所述第二基板是在表面形成了具有開口部的保護層的基板。

10.根據權利要求7所述的電鍍方法，其特征在于，

所述第二供電部件端部構成為與所述第一基板的前側平面部接觸。