[發(fā)明專利]偏振光照射裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510089297.8
• 申請日: 2015-02-27
• 公開（公告）號: CN104950521B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上島悠生;田中米太;藤次英樹
• 申請（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會社
• 主分類號: G02F1/1337
• 分類號: G02F1/1337
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 王成坤;胡建新

在將載置于工作臺的基板輸送到偏振光的照射面并對基板照射偏振光的偏振光照射裝置中，能夠檢測偏搖的產(chǎn)生，能夠有助于成品率的改善。光照射器(1)經(jīng)由偏振元件(12)對照射面(I)照射偏振光，通過由第一移動機(jī)構(gòu)(22)使工作臺(21)移動來使載置于工作臺(21)的基板(S)通過照射面(I)并進(jìn)行輸送。由激光干涉計(jì)(4)構(gòu)成的偏搖檢測構(gòu)件在一直直線移動到照射面(I)的位置時(shí)檢測工作臺(21)的偏搖。偏搖是圍繞與照射面(I)垂直的軸的旋轉(zhuǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請的發(fā)明涉及在光定向等中使用的偏振光的照射技術(shù)。

背景技術(shù)

在要獲得液晶顯示元件用的定向膜、視場角補(bǔ)償濾光器用的定向?qū)拥那闆r下，以前采用使?jié)L子擦蹭定向膜用的膜(以下，稱為膜材)而進(jìn)行的摩擦處理。然而，在更高性能的器件的制造中，考慮到摩擦?xí)r的分裂(parting)產(chǎn)生這一問題，多采用沒有分裂產(chǎn)生的光定向的技術(shù)。光定向是通過對膜材進(jìn)行光照射而使之定向的技術(shù)。以下，將通過光照射而產(chǎn)生了定向的膜及層統(tǒng)稱為光定向膜。另外，“定向”或“定向處理”是對于對象物的某個性質(zhì)賦予方向性。

光定向通過對膜材照射偏振光而進(jìn)行。膜材是例如聚酰亞胺(polyimide)那樣的樹脂制，向期望的方向偏振的偏振光被照射至膜材。通過規(guī)定的波長的偏振光的照射，成為膜材的分子構(gòu)造(例如側(cè)鏈)與偏振光的偏振軸的方向?qū)R的狀態(tài)，獲得光定向膜。

作為這樣的照射光定向用的偏振光的偏振光照射裝置，例如有專利文獻(xiàn)1公開的裝置。這種裝置具備與照射面的寬度或者這以上的寬度相當(dāng)?shù)拈L度的棒狀的光源、及使來自該光源的光偏振的格柵偏振元件，對于在相對于光源的長度方向正交的方向上輸送的膜材照射偏振光。光定向大多需要照射從可見區(qū)到紫外區(qū)的波長的偏振光，作為棒狀的光源，多使用水銀燈那樣的紫外線光源。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利第5200271號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

不言而喻，定向處理的品質(zhì)的重要的指標(biāo)是定向的方向精度。定向的方向精度差時(shí)，膜材的特定的性質(zhì)不朝向期望的朝向，無法獲得預(yù)定的定向處理的效果。所謂定向的方向精度的惡化，有在某個面內(nèi)整體上定向被設(shè)為與期望的方向不同的方向的情況、和在某個面內(nèi)定向的方向散亂的情況。

在獲得例如液晶顯示元件用的定向膜時(shí)的光定向處理中，液晶的各分子沿定向的方向被排列，因此在定向的方向精度的惡化作為整體而發(fā)生時(shí)，畫面整體的視覺辨認(rèn)性惡化。另外，在精度惡化作為定向的散亂而產(chǎn)生時(shí)，會產(chǎn)生畫面的局部的閃爍或顯示不均。

以產(chǎn)品的高性能化、高功能化為背景，這樣的定向的方向精度受到非常嚴(yán)格的要求。例如，在智能手機(jī)等移動設(shè)備多用的觸摸面板(觸摸面板幕顯示器)中，少許的定向的方向精度的惡化就導(dǎo)致畫面的視覺辨認(rèn)性低下及顯示不均，因此要求使光定向的方向精度更高。

光定向的方向精度由對膜材照射的偏振光的偏振軸的方向精度來決定。為了滿足所要求的方向精度，必須將照射的偏振光的偏振軸相對于期望的方向的偏移抑制在非常小的規(guī)定的范圍內(nèi)。因此，光定向用的偏振光照射裝置需要以上述那樣的軸偏移被抑制得較小的狀態(tài)將偏振光照射至膜材。

另一方面，通過偏振光照射而被進(jìn)行光定向的膜材以往通過卷對卷(roll toroll)來輸送，并在該輸送的過程中照射偏振光，光定向處理后的膜材被切斷為規(guī)定的大小并粘附在顯示器基板上。然而，在更高性能的顯示器的制造中，采用將膜材預(yù)先設(shè)置于基板、并對附有膜材的基板照射偏振光的構(gòu)成。在該情況下，采用通過將基板載置于工作臺并使工作臺移動，從而將基板輸送到偏振光的照射位置的構(gòu)成。

根據(jù)發(fā)明人的研究判明：在采用了這樣的工作臺輸送的構(gòu)成的偏振光照射裝置中，在獲得更高品質(zhì)的光定向膜的觀點(diǎn)，尤其應(yīng)當(dāng)注意。以下，使用圖4及圖5對該點(diǎn)進(jìn)行說明。圖4及圖5是對采用了工作臺輸送的構(gòu)成的偏振光照射裝置中的課題進(jìn)行表示的圖，圖4是立體概略圖，圖5是俯視概略圖。