[發(fā)明專利]偏振光照射裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510089297.8 | 申請日： | 2015-02-27 |
| 公開（公告）號： | CN104950521B | 公開（公告）日： | 2019-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 上島悠生;田中米太;藤次英樹 | 申請（專利權(quán)）人： | 優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社 |
| 主分類號： | G02F1/1337 | 分類號： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 王成坤;胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 偏振光 照射 裝置 | ||
1.一種偏振光照射裝置，其特征在于，具備：
光照射器，經(jīng)由偏振元件對所設(shè)定的照射面進(jìn)行光照射；以及
輸送系統(tǒng)，使載置有基板的工作臺(tái)移動(dòng)，將基板輸送到照射面的位置，
所述輸送系統(tǒng)包括：第一直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使工作臺(tái)在從脫離照射面的位置朝向照射面的位置的第一方向上直線移動(dòng)；以及θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過使所述工作臺(tái)圍繞與所述工作臺(tái)的載置面垂直的軸旋轉(zhuǎn)，將所述工作臺(tái)設(shè)為相對于所述偏振元件為規(guī)定的姿態(tài)，
所述偏振光照射裝置中設(shè)置有用于檢測所述工作臺(tái)的偏搖的偏搖檢測構(gòu)件，
所述偏搖檢測構(gòu)件具備反射鏡及對所述反射鏡照射激光的激光干涉計(jì)，根據(jù)基于在所述反射鏡反射后返回來的激光的干涉光，檢測所述工作臺(tái)的偏搖，
所述偏振光照射裝置中設(shè)置有第一定板，
在所述第一定板上搭載有第二直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述工作臺(tái)，
所述第一直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，是使所述第一定板在所述第一方向上移動(dòng)，從而使所述第二直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)、所述θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)及所述工作臺(tái)與所述第一定板一體地在所述第一方向上移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，
所述第二直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，是使所述工作臺(tái)在與所述第一方向正交的第二方向上直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，所述第二直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)是不使所述第一定板移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，
所述θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)，是使所述工作臺(tái)圍繞與所述工作臺(tái)的基板載置面垂直的軸旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，所述θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)是不使所述第一定板旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，
所述反射鏡設(shè)置于所述第一定板。
2.如權(quán)利要求1所述的偏振光照射裝置，其特征在于，
所述偏搖檢測構(gòu)件將激光分割，以向所述反射鏡上的不同的部位照射來自所述激光干涉計(jì)的激光，
根據(jù)基于各個(gè)照射的激光的反射光的干涉光，檢測所述工作臺(tái)的偏搖。
3.如權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于，
所述輸送系統(tǒng)輸送基板，以使載置于所述工作臺(tái)的基板通過照射面，
所述偏搖檢測構(gòu)件包括存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部存儲(chǔ)基板通過照射面時(shí)的偏搖的產(chǎn)生量。
4.如權(quán)利要求1或2所述的偏振光照射裝置，其特征在于，
所述偏振光照射裝置具備與所述偏搖檢測構(gòu)件連接的順序控制部，
在通過所述第一直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)而從脫離所述照射面的位置向所述照射面的位置移動(dòng)時(shí)所述偏搖檢測構(gòu)件檢測到限度以上的偏搖的情況下，所述順序控制部基于來自所述偏搖檢測構(gòu)件的指令進(jìn)行輸出警報(bào)或者使所述輸送系統(tǒng)停止的控制。
5.如權(quán)利要求4所述的偏振光照射裝置，其特征在于，
脫離所述照射面的位置是向所述工作臺(tái)搭載基板的載入位置，
所述偏搖檢測構(gòu)件是在從載入位置一直直線移動(dòng)到所述照射面的位置時(shí)檢測所述工作臺(tái)的偏搖的構(gòu)件。
6.如權(quán)利要求1所述的偏振光照射裝置，其特征在于，
在所述第一定板上搭載有第二定板，
所述第二直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)，是使所述第二定板在所述第二方向上直線移動(dòng)的機(jī)構(gòu)，
所述θ方向移動(dòng)機(jī)構(gòu)搭載于所述第二定板上。
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G02F1-00 控制來自獨(dú)立光源的光的強(qiáng)度、顏色、相位、偏振或方向的器件或裝置，例如，轉(zhuǎn)換、選通或調(diào)制；非線性光學(xué)
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G02F1-29 .用于光束的位置或方向的控制，即偏轉(zhuǎn)
G02F1-35 .非線性光學(xué)
G02F1-355 ..以所用材料為特征的
G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的
