[發(fā)明專利]氣態(tài)物料的配料系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510082901.4
• 申請(qǐng)日: 2015-02-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104587889B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉巍;韓莉果;周勃;赫梓宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 核工業(yè)理化工程研究院
• 主分類號(hào): B01F15/04
• 分類號(hào): B01F15/04;B01F3/02
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標(biāo)代理有限公司12103
• 代理人: 胡恩河

1.一種氣態(tài)物料的配料系統(tǒng)，其特征在于：包括WF₆供料裝置（1）、HF供料裝置（2）、N₂供料裝置（3）并行連接到管道（6）中，并與配料罐（4）連通，所述的WF₆供料裝置（1）包括通過(guò)管道（6）和閥門依次相通的WF₆供料容器（5）、WF₆穩(wěn)壓罐（7）、WF₆質(zhì)量流量計(jì)（9）、配料罐（4），所述的HF供料裝置（2）包括通過(guò)管道（6）和閥門依次相通的HF供料容器（10）、HF穩(wěn)壓罐（11）、HF質(zhì)量流量計(jì)（12）、標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）、配料罐（4），HF質(zhì)量流量計(jì)（12）兩端與W7閥門并行連通，所述的標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）包括四個(gè)接口，標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）的第一、第四接口兩端與依次連通的W9閥門、Ⅳ號(hào)壓力計(jì)（22）、W10閥門并行連通，所述的N₂供料裝置（3）包括通過(guò)管道（6）和閥門依次相通的N₂供料容器（15）、N₂穩(wěn)壓罐（16）、N₂質(zhì)量流量計(jì)（17）、標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）、配料罐（4），N₂質(zhì)量流量計(jì)（17）兩端與N4閥門并行連通，標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）的第三、第四接口兩端與依次連通的N6閥門、Ⅴ號(hào)壓力計(jì)（23）、N7閥門并行連通，連接有真空泵機(jī)組（18）的收料容器（14）分別與HF穩(wěn)壓罐（11）、N₂穩(wěn)壓罐（16）、標(biāo)準(zhǔn)體積罐（13）連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣態(tài)物料的配料系統(tǒng)，其特征在于：收料容器（14）外部設(shè)置有Ⅱ號(hào)恒溫裝置（26），HF供料容器（10）外部設(shè)置有Ⅰ號(hào)恒溫裝置（25）。