[發明專利]氣態物料的配料系統有效
| 申請號: | 201510082901.4 | 申請日: | 2015-02-16 |
| 公開(公告)號: | CN104587889B | 公開(公告)日: | 2017-06-23 |
| 發明(設計)人: | 劉巍;韓莉果;周勃;赫梓宇 | 申請(專利權)人: | 核工業理化工程研究院 |
| 主分類號: | B01F15/04 | 分類號: | B01F15/04;B01F3/02 |
| 代理公司: | 天津市宗欣專利商標代理有限公司12103 | 代理人: | 胡恩河 |
| 地址: | 300180 *** | 國省代碼: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氣態 物料 配料 系統 | ||
技術領域
本發明屬于一種配料裝置,具體涉及一種氣態物料的配料系統。
背景技術
在對WF6進行生產過程中,會有一定量的輕雜質,如HF、N2、O2等,產生或滲漏進入產品中,因此需要對產出的WF6物料進行純化處理。
在對分離上述WF6與輕雜質的試驗研究過程中,需要模擬生產裝置中的原料,定量配比的結果將直接影響試驗結果的客觀性與準確性。但是單純的將WF6、HF、N2、O2靜置在一個密閉的容器中時,上述氣體會分層分布而非均布混合,導致流出容器的物料組成及含量不均勻,因此,上述配料方法并不能滿足現有的需求。
發明內容
本發明為解決現有技術存在的問題而提出,其目的是提供一種氣態物料的配料系統。
本發明的技術方案是:一種氣態物料的配料系統,包括WF6供料裝置、HF供料裝置、N2供料裝置并行連接到管道中,并與配料罐連通,所述的WF6供料裝置包括通過管道和閥門依次相通的WF6供料容器、WF6穩壓罐、WF6質量流量計、配料罐,所述的HF供料裝置包括括通過管道和閥門依次相通的HF供料容器、HF穩壓罐、HF質量流量計、標準體積罐、配料罐,HF質量流量計兩端與W7閥門并行連通,所述的標準體積罐包括四個接口,標準體積罐的第一、第四接口兩端與依次連通的W9閥門、Ⅳ號壓力計、W10閥門并行連通,所述的N2供料裝置包括通過管道和閥門依次相通的N2供料容器、N2穩壓罐、N2質量流量計、標準體積罐、配料罐,N2質量流量計兩端與N4閥門并行連通,標準體積罐的第三、第四接口兩端與依次連通的N6閥門、Ⅴ號壓力計、N7閥門并行連通,連接有真空泵機組的收料容器分別與HF穩壓罐、N2穩壓罐、標準體積罐連通。
收料容器外部設置有Ⅱ號恒溫裝置,HF供料容器外部設置有Ⅰ號恒溫裝置。
本發明實現了各物料的定量調整與供給,保證了進入配料罐的物料流量與各自的含量是穩定不變的,由于試驗過程中三種物料的流量有較大的區別,因此分別采用質量法控制WF6的流量和體積法控制HF、N2的流量,能夠提高流量的控制精度和控制難度,閥門W7與閥門N4的使用,使本發明可以滿足大物料漏率的要求。
附圖說明
圖1是本發明的整體結構示意圖;
圖2是本發明中WF6的供料裝置示意圖;
圖3是本發明中HF的供料裝置示意圖;
圖4是本發明中N2的供料裝置示意圖。
其中:
1 WF6供料裝置2 HF供料裝置
3 N2供料裝置 4 配料罐
5 WF6供料容器6 管道
7 WF6穩壓罐8 手動微調閥門
9 WF6質量流量計10 HF供料容器
11 HF穩壓罐12 HF質量流量計
13 標準體積罐14 收料容器
15 N2供料容器16 N2穩壓罐
17 N2質量流量計18 真空泵機組
19 Ⅰ號壓力計 20 Ⅱ號壓力計
21 Ⅲ號壓力計22 Ⅳ號壓力計
23 Ⅴ號壓力計24 Ⅵ號壓力計
25 Ⅰ號恒溫裝置 26 Ⅱ號恒溫裝置
27 Ⅶ號壓力計
F0~F5,W0~W10,N1~N7,WN1、WN2,WD、ND、WND1~WND3均為閥門。
具體實施方式
以下,參照附圖和實施例對本發明進行詳細說明:
如圖1所示,一種氣態物料的配料系統,包括WF6供料裝置1、HF供料裝置2、N2供料裝置3并行連接到管道6中,并與配料罐4連通。
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