[發明專利]檢測裝置、壓印裝置及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201510080276.X
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104849956B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 稻田博志;三島和彥;宮春隆文
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G01B11/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

本公開提供了一種檢測裝置、壓印裝置及物品的制造方法。所述檢測裝置被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案生成的莫爾紋圖案，所述檢測裝置包括：攝像單元，其被構造為拍攝所述莫爾紋圖案的圖像；成像光學系統，其被構造為使攝像單元對所述莫爾紋圖案進行成像；以及處理單元，其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫爾紋圖案的攝像結果進行處理，其中所述攝像單元拍攝包括具有不大于所述成像光學系統的分辨能力的寬度的多個圖案的標記，所述多個圖案布置在測量方向上并且所述多個圖案的寬度和間隔之間的占空比被變化，并且所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的標記的所述攝像結果進行處理，來評估所述檢測裝置。

技術領域

本公開涉及用于檢測標記的檢測裝置、配備有用于檢測標記的檢測裝置的壓印裝置以及通過使用檢測裝置和壓印裝置來制造物品的方法。

背景技術

作為用于制造半導體設備的技術，已知壓印技術。壓印技術是用于通過使用形成有圖案的模具在供給到基板上的壓印材料上形成圖案的技術。

日本特表第2008-522412號公報公開了配備有檢測裝置的壓印裝置，該檢測裝置用于同時檢測基板上的拍攝區域中形成的對準標記和模具上形成的對準標記。日本特表第2008-522412號公報公開的檢測裝置包括分別在模具和基板上形成的對準標記，這些對準標記包括在用于測量相對位置的方向上具有柵格節距的柵格圖案，該檢測裝置基于兩個柵格圖案形成的莫爾紋圖案(moire pattern)的相位的檢測結果而在模具與基板之間實現晶片間對準。

在檢測裝置中，在基板上的柵格圖案與模具上的柵格圖案的測量方向上的兩者的柵格節距彼此稍微不同，如果這兩個柵格圖案彼此疊加，則來自兩個柵格圖案的衍射光彼此干涉并且生成具有反映柵格節距差異的周期的莫爾紋圖案。當柵格圖案的相對位置在測量方向上變化時，莫爾紋圖案的相位也變化。因此，通過檢測莫爾紋圖案的相位可以實現基板與模具之間的對準。

為了檢測莫爾紋圖案并實現基板與模具之間的對準，有必要首先評估檢測裝置本身的性能。通過使用在基板和模具上的各自的柵格圖案之間的柵格節距差而獲得的莫爾紋圖案的周期以及實際由檢測裝置的攝像單元拍攝的莫爾紋圖案的周期的圖像，可以評估作為檢測裝置的光學性能之一的光學倍率(光學系統的倍率)。

配設在日本特表第2008-522412號公報的壓印裝置中的檢測裝置無法檢測莫爾紋圖案，除非基板上形成的柵格圖案與模具上形成的柵格圖案彼此疊加。因此，在不使用形成有柵格圖案的基板和模具的情況下，無法評估檢測裝置的性能。

發明內容

本公開提供了一種檢測裝置，所述檢測裝置被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案生成的莫爾紋圖案，所述檢測裝置包括：攝像單元，其被構造為拍攝所述莫爾紋圖案的圖像；成像光學系統，其被構造為在所述攝像單元上形成所述莫爾紋圖案的圖像；以及處理單元，其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫爾紋圖案的攝像結果進行處理，其中，所述攝像單元拍攝標記的圖像，所述標記包括具有不大于所述成像光學系統的分辨能力的寬度的多個圖案，所述多個圖案被布置在測量方向上并且所述多個圖案的寬度和間隔之間的占空比被改變，并且所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的標記的所述攝像結果進行處理，來評估所述檢測裝置。

本公開的另一方面提供了一種檢測裝置，所述檢測裝置被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案生成的莫爾紋圖案，所述檢測裝置包括：攝像單元，其被構造為拍攝所述莫爾紋圖案的圖像；成像光學系統，其被構造為使所述攝像單元對所述莫爾紋圖案的圖像進行成像；以及處理單元，其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫爾紋圖案的攝像結果進行處理，其中，所述攝像單元拍攝標記的圖像，所述標記包括具有不大于所述成像光學系統的分辨能力的寬度的多個圖案，所述多個圖案被布置在測量方向上并且所述多個圖案在非測量方向上的長度被改變，并且所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的標記的所述攝像結果進行處理，來評估所述檢測裝置。

根據以下參照附圖對示例性實施例的描述，本發明的其他特征將變得清楚。