[發明專利]檢測裝置、壓印裝置及物品的制造方法

有效

• 申請號: 201510080276.X
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104849956B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 稻田博志;三島和彥;宮春隆文
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G01B11/00
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

1.一種檢測裝置，其被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案生成的莫爾紋圖案，所述檢測裝置包括：

攝像單元，其被構造為拍攝所述莫爾紋圖案的圖像；

成像光學系統，其被構造為在所述攝像單元上形成所述莫爾紋圖案的圖像；

處理單元，其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫爾紋圖案的攝像結果進行處理；以及

布置在部件上的基準標記，所述基準標記具有在測量方向上周期性地布置的多個圖案，

其中，所述圖案在測量方向上具有不大于所述成像光學系統的分辨能力的寬度，

其中，所述圖案的寬度以及所述圖案之間在測量方向上的間隔在測量方向上變化，

其中，所述基準標記與所述柵格圖案不同，并且所述基準標記用于通過所述基準標記的圖像來評估所述檢測裝置，并且，

其中，所述成像光學系統拍攝所述基準標記的圖像。

2.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中，

所述圖案的寬度以及所述圖案之間在測量方向上的間隔，在測量方向上以正弦波圖案變化。

3.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中

所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的所述基準標記的所述攝像結果進行處理，來獲得所述基準標記在測量方向上的位置。

4.根據權利要求1所述的檢測裝置，其中

所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的所述基準標記的所述攝像結果進行處理，獲得所述檢測裝置的所述成像光學系統的倍率，或者所述檢測裝置的測量重復性。

5.一種檢測裝置，其被構造為檢測由具有彼此不同的柵格節距的柵格圖案生成的莫爾紋圖案，所述檢測裝置包括：

攝像單元，其被構造為拍攝所述莫爾紋圖案的圖像；

成像光學系統，其被構造為在所述攝像單元上形成所述莫爾紋圖案的圖像；

處理單元，其被構造為對由所述攝像單元拍攝到的所述莫爾紋圖案的攝像結果進行處理；以及

布置在部件上的基準標記，所述基準標記具有在測量方向上周期性地布置的多個圖案，

其中，所述圖案在測量方向上具有不大于所述成像光學系統的分辨能力的寬度，

其中，所述圖案在與測量方向相垂直的非測量方向上的長度，在測量方向上變化，

其中，所述基準標記與所述柵格圖案不同，并且所述基準標記用于通過所述基準標記的圖像來評估所述檢測裝置，并且，

其中，所述成像光學系統拍攝所述基準標記的圖像。

6.根據權利要求5所述的檢測裝置，其中

所述圖案在非測量方向上的長度，在測量方向上以正弦波圖案變化。

7.根據權利要求5所述的檢測裝置，其中

所述處理單元在所述非測量方向上對由所述攝像單元拍攝到的所述基準標記的圖像進行積分，并且使用通過所述積分獲得的信號來評估所述檢測裝置。

8.根據權利要求5所述的檢測裝置，其中

所述處理單元通過對由所述攝像單元拍攝到的所述基準標記的所述攝像結果進行處理，來獲得所述基準標記在所述測量方向上的位置。

9.一種對準裝置，其被構造為通過檢測將在兩個不同的被檢測設備上分別形成的柵格圖案疊加而生成的莫爾紋圖案，來對所述兩個不同的被檢測設備進行對準，所述對準裝置包括：

檢測裝置，其被構造為分別檢測由形成在所述兩個不同的被檢測設備上的所述柵格圖案生成的所述莫爾紋圖案；以及

驅動機構，其被構造為基于所述檢測裝置的檢測結果，對準所述兩個不同的被檢測設備，其中

所述檢測裝置是根據權利要求1至權利要求8中任一項所述的檢測裝置。