[發明專利]掩模框架組件及其制造方法

有效

• 申請號: 201510072580.X
• 申請日: 2015-02-11
• 公開（公告）號: CN105401123B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 韓政洹
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;劉錚

1.一種掩模框架組件，包括：

框架，包括開口部和圍繞所述開口部的支承部；

掩模，在與所述開口部對應的位置包括沉積區域；

位置固定部，可旋轉地設置到所述支承部，具有多個凸出部，并且所述位置固定部通過所述多個凸出部中的一個凸出部與所述掩模接合而與所述掩模連接，以及

支承件，接合到所述框架，并且供所述多個凸出部中的另一個凸出部插入，以及

其中所述位置固定部的旋轉軸平行于所述掩模。

2.如權利要求1所述的掩模框架組件，其中，所述位置固定部包括：

軸，固定到所述支承部；以及

輪，具有所述多個凸出部，其中所述軸插入到所述輪中。

3.如權利要求2所述的掩模框架組件，其中，所述凸出部以所述軸為中心形成為放射形。

4.如權利要求1所述的掩模框架組件，其中，所述位置固定部沿著所述框架布置為多個。

5.如權利要求1所述的掩模框架組件，其中，所述支承件能夠相對于所述框架進行上下運動。

6.如權利要求5所述的掩模框架組件，其中，所述支承件包括：

基體部，形成有供所述位置固定部的所述另一個凸出部插入的鎖定槽；

彈性部，布置在所述基體部與所述框架之間；以及

固定部件，一部分插入到所述框架中，并且貫穿所述基體部和所述彈性部。

7.如權利要求6所述的掩模框架組件，其中，所述彈性部在其壓縮方向的相反方向上形成排斥力。

8.如權利要求1所述的掩模框架組件，其中，所述支承件具有用于插入所述另一個凸出部的鎖定槽，如果調節所述鎖定槽的高度，則所述位置固定部進行旋轉以調節所述掩模的張力。

9.一種掩模框架組件，包括：

框架，包括開口部和圍繞所述開口部的支承部；

掩模，在與所述開口部對應的位置包括沉積區域；

位置固定部，可旋轉地設置到所述框架，具有多個凸出部，并且所述多個凸出部中的一個凸出部與所述掩模接合；以及

支承件，與所述框架接合，供所述多個凸出部中的另一個凸出部插入，并且通過相對于所述框架上下運動來旋轉所述位置固定部。

10.如權利要求9所述的掩模框架組件，其中，所述支承件包括：

基體部，形成有供所述另一個凸出部插入的鎖定槽；

彈性部，布置在所述基體部與所述框架之間；以及

固定部件，一部分插入到所述框架中，并且貫穿所述基體部和所述彈性部。

11.如權利要求10所述的掩模框架組件，其中，如果調節所述鎖定槽的高度，則所述位置固定部進行旋轉以調節所述掩模的張力。

12.如權利要求10所述的掩模框架組件，其中，所述彈性部在其壓縮方向的相反方向上形成排斥力。

13.如權利要求9所述的掩模框架組件，其中，所述支承件在所述框架的外側布置成與所述位置固定部對應。

14.一種掩模框架組件制造方法，包括：

將包括多個凸出部的位置固定部設置在框架的凹槽中的步驟；

將所述位置固定部的所述多個凸出部中的第一凸出部與掩模的邊緣部焊接并接合的步驟；以及

將所述多個凸出部中的、不同于所述第一凸出部的第二凸出部插入到支承件的鎖定槽中以固定所述位置固定部的步驟。

15.如權利要求14所述的掩模框架組件制造方法，還包括：

為了替換所述掩模，將與所述第一凸出部相鄰的第三凸出部與替換的掩模的邊緣部接合并且將與所述第二凸出部相鄰的第四凸出部插入到所述鎖定槽中以固定所述位置固定部的步驟。

16.如權利要求14所述的掩模框架組件制造方法，還包括：

使所述支承件相對于所述框架上下運動來旋轉所述位置固定部以調節所述掩模的張力的步驟。