[發明專利]掩?？蚣芙M件及其制造方法

有效

• 申請號: 201510072580.X
• 申請日: 2015-02-11
• 公開（公告）號: CN105401123B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發明（設計）人: 韓政洹
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 余朦;劉錚

本發明公開了掩?？蚣芙M件及其制造方法。本發明包括具有開口部和圍繞所述開口部的支承部的框架、在與所述開口部對應的位置包括沉積區域的掩模以及可旋轉地設置到所述支承部并且與所述掩模連接的位置固定部。

技術領域

本發明的實施方式涉及用于薄膜沉積的掩?？蚣芙M件以及該掩?？蚣芙M件的制造方法。

背景技術

通常，作為有源發光型顯示元件，作為平坦式顯示器之一的有機發光顯示裝置不僅具有視角寬、對比度優異的優點，而且還具有能夠通過低電壓驅動、呈輕量的扁平狀并且響應速度快的優點，由此作為下一代顯示元件而備受矚目。

這種發光元件根據形成發光層的物質劃分為無機發光元件和有機發光元件，并且相比于無機發光元件，有機發光元件具有亮度、響應速度等特性優秀、能夠以彩色顯示等的優點，因此對其的開發最近廣為進行。

有機發光顯示裝置通過真空沉積法形成有機膜和/或電極。然而，隨著有機發光顯示裝置逐漸被高分辨率化，沉積工藝中所用的掩模的開放式狹縫(open slit)的寬度逐漸變窄并且其散布也需要被進一步減小。

此外，為了制造高分辨率有機發光顯示裝置，需要減少或去除陰影現象(shadoweffect)。為此，目前在襯底與掩模緊貼的狀態下進行沉積工藝，并且正在興起用于改善襯底與掩模的附接度的技術的開發。

上述的背景技術是發明人為得出本發明而擁有的技術信息或者在得出本發明的過程中習得的技術信息，并不一定是在本發明的申請前已公開于一般公眾的公知技術。

發明內容

本發明的實施方式提供掩模框架組件及其制造方法。

根據本發明的一方面，提供掩模框架組件，所述掩?？蚣芙M件包括具有開口部和圍繞所述開口部的支承部的框架、在與所述開口部對應的位置包括沉積區域的掩模、和可旋轉地設置到所述支承部并且與所述掩模連接的位置固定部。

此外，所述掩?？蚣芙M件還可以包括供所述位置固定部的至少一部分插入并且接合到所述框架的支承件。

此外，所述位置固定部可以包括多個凸出部，其中，所述多個凸出部中的一個凸出部可以與所述掩模接合，所述多個凸出部中的另一個凸出部可以被插入到所述支承件的鎖定槽中。

此外，所述位置固定部可以包括固定到所述支承部的軸和具有多個凸出部的輪，其中，所述軸插入到所述輪中。

此外，所述凸出部可以所述軸為中心形成為放射形。

此外，所述位置固定部可以沿著所述框架布置為多個。

此外，所述支承件可以相對于所述框架進行線性運動。

此外，所述支承件可以包括形成有供所述位置固定部的至少一部分插入的鎖定槽的基體部、布置在所述基體部與所述框架之間的彈性部、和一部分插入到所述框架中并且貫通所述基體部和所述彈性部的固定部件。

此外，所述彈性部可以在其壓縮方向的相反方向上形成排斥力。

此外，如果調節所述鎖定槽的高度，則所述位置固定部可以進行旋轉以調節所述掩模的張力。

根據本發明的另一方面，提供掩?？蚣芙M件，所述掩模框架組件包括具有開口部和圍繞所述開口部的支承部的框架、在與所述開口部對應的位置包括沉積區域的掩模、可旋轉地設置到所述框架并且與所述掩模接合的位置固定部、和與所述框架接合并且通過相對于所述框架上下運動來旋轉所述位置固定部的支承件，

此外，所述位置固定部可以包括多個凸出部，其中，所述多個凸出部中的一個凸出部可以與所述掩模接合，所述多個凸出部中的另一個凸出部可以被插入到所述支承件的鎖定槽中。