[發明專利]氣動傳感器

有效

• 申請號: 201510064646.0
• 申請日: 2015-02-06
• 公開（公告）號: CN104807486B
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 孫利佳;林同福;趙豪;徐傳毅
• 申請（專利權）人: 納米新能源（唐山）有限責任公司
• 主分類號: G01D5/42
• 分類號: G01D5/42
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所(普通合伙)11276
• 代理人: 宋菲,劉云貴

技術領域

本發明涉及傳感器技術領域，具體涉及一種氣動傳感器。

背景技術

隨著科技及人們生活需求的不斷發展，氣動傳感器在生活中的多個方面都得到了應用。但是現有的氣動傳感器存在制作成本高、制作工藝復雜、輸出信號偏小、對外接信號處理電路要求也較高的問題，而且還很容易受到外界振動的干擾。

發明內容

本發明的發明目的是針對現有技術的缺陷，提供了一種氣動傳感器，用于解決現有技術中的氣動傳感器的輸出信號小、對外接信號處理電路要求高、易受外界振動干擾的問題。

本發明提供一種氣動傳感器，包括：屏蔽殼、在屏蔽殼的部分或全部內側表面設置的絕緣層、及至少一個傳感單元；屏蔽殼上開設有至少兩個通氣口，氣流在通氣口之間通過；傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；至少一層固定層固設在屏蔽殼上；自由層具有固定部和摩擦部；自由層的固定部與至少一層固定層或屏蔽殼固定連接；自由層通過摩擦部與至少一層固定層和/或屏蔽殼摩擦；其中，至少一層固定層和/或屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，氣流的進氣方向平行于至少一層固定層所在平面或者氣流的進氣方向垂直于至少一層固定層所在平面。

進一步，傳感單元包括：一層固定層和一層自由層；固定層包含電極，絕緣層設置在電極與屏蔽殼內側表面之間；自由層通過摩擦部與固定層和/或屏蔽殼摩擦，電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，固定層為電極，或者，固定層為一側表面鍍有電極的高分子聚合物絕緣層。

進一步，至少一層固定層為兩層，分別為第一固定層和第二固定層；第一固定層和第二固定層分離固設在屏蔽殼上，自由層位于第一固定層和第二固定層之間；第一固定層包含第一電極，絕緣層設置在第一電極與屏蔽殼內側表面之間；自由層的固定部與第一固定層或第二固定層固定連接，自由層通過摩擦部與第一固定層和/或第二固定層摩擦。

進一步，第一固定層為第一電極，或者，第一固定層為一側表面鍍有第一電極的第一高分子聚合物絕緣層。

進一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，第二固定層包含第二電極，第二電極與屏蔽殼內側表面接觸，第一電極和屏蔽殼為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設置在第二電極與屏蔽殼內側表面之間；第一電極和第二電極為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，第一電極由兩個叉指電極組成，兩個叉指電極為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，第二固定層包含第二電極，絕緣層還設置在第二電極與屏蔽殼內側表面之間；第一電極由兩個叉指電極組成，第二電極由兩個叉指電極組成，四個叉指電極為氣動傳感器的信號輸出端。

進一步，第二固定層中間開設有與通氣口相對的集風口，第一固定層與屏蔽殼之間形成兩個與通氣口相對的出風口，自由層由對稱的兩個部分組成，自由層的固定部與所述屏蔽殼固定連接。

進一步，第二固定層為第二電極，或者，第二固定層為一側表面鍍有第二電極的第二高分子聚合物絕緣層。

進一步，傳感單元為多個，屏蔽殼內還設置有至少一個隔板，多個傳感單元通過隔板隔開，多個傳感單元并聯連接。

進一步，傳感單元為多個，多個傳感單元通過絕緣層隔開，多個傳感單元并聯連接。

進一步，自由層的固定部通過兩個墊片與至少一層固定層的一邊或對角固定連接，或者自由層的固定部通過四個墊片與至少一層固定層的四個角固定連接。

進一步，屏蔽殼的材料為金屬材料，屏蔽殼接地。

進一步，隔板與屏蔽殼的材料相同。

進一步，在屏蔽殼的通氣口設置透氣屏蔽層，透氣屏蔽層為網狀金屬層或帶孔洞的金屬層。

進一步，自由層經過預熱壓和預固化處理，使得自由層在迎風處具有彎曲結構或彎折結構。

進一步，氣動傳感器的摩擦界面的兩層相對的面中至少一面設有微納結構。