[發(fā)明專(zhuān)利]氣動(dòng)傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510064646.0
• 申請(qǐng)日: 2015-02-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104807486B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫利佳;林同福;趙豪;徐傳毅
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 納米新能源（唐山）有限責(zé)任公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01D5/42
• 分類(lèi)號(hào): G01D5/42
• 代理公司: 北京市浩天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11276
• 代理人: 宋菲,劉云貴

1.一種氣動(dòng)傳感器，其特征在于，包括：屏蔽殼、在所述屏蔽殼的部分或全部?jī)?nèi)側(cè)表面設(shè)置的絕緣層、及至少一個(gè)傳感單元；

所述屏蔽殼上開(kāi)設(shè)有至少兩個(gè)通氣口，氣流在通氣口之間通過(guò)；

所述傳感單元包括：至少一層固定層和一層自由層；所述至少一層固定層固設(shè)在所述屏蔽殼上；所述自由層具有固定部和摩擦部；所述自由層的固定部與所述至少一層固定層或所述屏蔽殼固定連接；所述自由層通過(guò)摩擦部與所述至少一層固定層和/或所述屏蔽殼摩擦；

其中，所述至少一層固定層為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端，或者，所述至少一層固定層和所述屏蔽殼為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，氣流的進(jìn)氣方向平行于所述至少一層固定層所在平面或者氣流的進(jìn)氣方向垂直于所述至少一層固定層所在平面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述傳感單元包括：一層固定層和一層自由層；

所述固定層包含電極，所述絕緣層設(shè)置在所述電極與所述屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；

所述自由層通過(guò)摩擦部與所述固定層和/或所述屏蔽殼摩擦，所述電極和所述屏蔽殼為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述固定層為電極，或者，所述固定層為一側(cè)表面鍍有電極的高分子聚合物絕緣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述至少一層固定層為兩層，分別為第一固定層和第二固定層；所述第一固定層和所述第二固定層分離固設(shè)在所述屏蔽殼上，所述自由層位于所述第一固定層和所述第二固定層之間；

所述第一固定層包含第一電極，所述絕緣層設(shè)置在所述第一電極與所述屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；

所述自由層的固定部與所述第一固定層或第二固定層固定連接，所述自由層通過(guò)摩擦部與所述第一固定層和/或所述第二固定層摩擦。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第一固定層為第一電極，或者，所述第一固定層為一側(cè)表面鍍有第一電極的第一高分子聚合物絕緣層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，所述第一電極和所述屏蔽殼為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述第二電極與所述屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面接觸，所述第一電極和所述屏蔽殼為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述絕緣層還設(shè)置在所述第二電極與所述屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；

所述第一電極和所述第二電極為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層為第二高分子聚合物絕緣層，所述第一電極由兩個(gè)叉指電極組成，所述兩個(gè)叉指電極為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層包含第二電極，所述絕緣層還設(shè)置在所述第二電極與所述屏蔽殼內(nèi)側(cè)表面之間；

所述第一電極由兩個(gè)叉指電極組成，所述第二電極由兩個(gè)叉指電極組成，四個(gè)叉指電極為所述氣動(dòng)傳感器的信號(hào)輸出端。

12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層中間開(kāi)設(shè)有與所述通氣口相對(duì)的集風(fēng)口，所述第一固定層與所述屏蔽殼之間形成兩個(gè)與通氣口相對(duì)的出風(fēng)口，所述自由層由對(duì)稱(chēng)的兩個(gè)部分組成，自由層的固定部與所述屏蔽殼固定連接。

13.根據(jù)權(quán)利要求8、9、11或12所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述第二固定層為第二電極，或者，所述第二固定層為一側(cè)表面鍍有第二電極的第二高分子聚合物絕緣層。

14.根據(jù)權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述傳感單元為多個(gè)，所述屏蔽殼內(nèi)還設(shè)置有至少一個(gè)隔板，多個(gè)傳感單元通過(guò)隔板隔開(kāi)，所述多個(gè)傳感單元并聯(lián)連接。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的氣動(dòng)傳感器，其特征在于，所述傳感單元為多個(gè)，所述屏蔽殼內(nèi)還設(shè)置有至少一個(gè)隔板，多個(gè)傳感單元通過(guò)隔板隔開(kāi)，所述多個(gè)傳感單元并聯(lián)連接。