[發明專利]一種集成傳感器及其制備方法有效
| 申請號： | 201510059298.8 | 申請日： | 2015-02-04 |
| 公開（公告）號： | CN105984834B | 公開（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發明（設計）人： | 徐偉;劉國安;吳萍 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B7/00;G01L1/14;G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加速度傳感器 壓力傳感器 襯底 集成傳感器 垂直 制備 電容式壓力傳感器 三軸加速度傳感器 傳感器芯片 電子設備 航天領域 加速度計 集成化 傳感器 減小 整合 生產成本 芯片 主流 應用 | ||
【說明書】：
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