[發(fā)明專利]一種集成傳感器及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510059298.8 | 申請(qǐng)日： | 2015-02-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105984834B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-07-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐偉;劉國(guó)安;吳萍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B81C1/00 | 分類號(hào)： | B81C1/00;B81B7/00;G01L1/14;G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加速度傳感器 壓力傳感器 襯底 集成傳感器 垂直 制備 電容式壓力傳感器 三軸加速度傳感器 傳感器芯片 電子設(shè)備 航天領(lǐng)域 加速度計(jì) 集成化 傳感器 減小 整合 生產(chǎn)成本 芯片 主流 應(yīng)用 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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