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[發明專利]一種形成有取向膜的基板的清洗方法有效

專利信息
申請號: 201510058837.6 申請日: 2015-02-04
公開(公告)號: CN104570496B 公開(公告)日: 2017-05-10
發明(設計)人: 李建;范宇光;周永山 申請(專利權)人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
主分類號: G02F1/1337 分類號: G02F1/1337
代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274 代理人: 申健
地址: 100015 *** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 形成 取向 清洗 方法
【權利要求書】:

1.一種形成有取向膜的基板的清洗方法,所述取向膜的取向方式為摩擦取向,其特征在于,包括:

對所述取向膜進行冷卻處理,在10s-40s的時間范圍內,使得所述取向膜的溫度降低10℃-30℃;

對冷卻處理后的所述取向膜進行清洗。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述對所述取向膜進行冷卻處理包括:將形成有所述取向膜的基板浸泡在溫度范圍為5℃-15℃的清洗液中。

3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,在將形成有所述取向膜的基板浸泡在溫度范圍為5℃-15℃的清洗液中之前,所述方法還包括:對所述取向膜進行超聲波清洗。

4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述對所述取向膜進行超聲波清洗包括:利用溫度范圍為5℃-15℃的氣體對所述取向膜進行吹洗。

5.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,對所述取向膜進行吹洗的時間范圍為15s-30s。

6.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述清洗液為去離子水或者有機溶劑。

7.根據權利要求6所述的方法,其特征在于,所述有機溶劑為異丙醇。

8.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述對冷卻處理后的所述取向膜進行清洗具體包括:利用汽水混合物對冷卻處理后的所述取向膜進行清洗。

9.根據權利要求8所述的方法,其特征在于,所述汽水混合物的溫度范圍為5℃-15℃。

10.根據權利要求8或者9所述的方法,其特征在于,所述汽水混合物為空氣和去離子水的混合物。

11.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,在對冷卻處理后的所述取向膜進行清洗之后,所述方法還包括:對所述取向膜進行干燥處理。

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