[發(fā)明專(zhuān)利]用于調(diào)平驗(yàn)證測(cè)試的方法及校準(zhǔn)光刻投影設(shè)備的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510058612.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-02-04 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105988302B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉洋;胡華勇;鄧國(guó)貴 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中芯國(guó)際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20 | 分類(lèi)號(hào)： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務(wù)所 11336 | 代理人： | 董巍;高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 驗(yàn)證 測(cè)試 方法 校準(zhǔn) 光刻 投影設(shè)備 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
- 驗(yàn)證系統(tǒng)、驗(yàn)證服務(wù)器、驗(yàn)證方法、驗(yàn)證程序、終端、驗(yàn)證請(qǐng)求方法、驗(yàn)證請(qǐng)求程序和存儲(chǔ)媒體
- 驗(yàn)證目標(biāo)系統(tǒng)的驗(yàn)證系統(tǒng)及其驗(yàn)證方法
- 驗(yàn)證設(shè)備、驗(yàn)證方法和驗(yàn)證程序
- 驗(yàn)證裝置、驗(yàn)證系統(tǒng)以及驗(yàn)證方法
- 驗(yàn)證方法、驗(yàn)證系統(tǒng)、驗(yàn)證設(shè)備及其程序
- 驗(yàn)證方法、用于驗(yàn)證的系統(tǒng)、驗(yàn)證碼系統(tǒng)以及驗(yàn)證裝置
- 圖片驗(yàn)證碼驗(yàn)證方法和圖片驗(yàn)證碼驗(yàn)證裝置
- 驗(yàn)證裝置、驗(yàn)證程序和驗(yàn)證方法
- 驗(yàn)證裝置、驗(yàn)證方法及驗(yàn)證程序
- 跨多個(gè)驗(yàn)證域的驗(yàn)證系統(tǒng)、驗(yàn)證方法、驗(yàn)證設(shè)備
- 軟件測(cè)試系統(tǒng)及測(cè)試方法
- 自動(dòng)化測(cè)試方法和裝置
- 一種應(yīng)用于視頻點(diǎn)播系統(tǒng)的測(cè)試裝置及測(cè)試方法
- Android設(shè)備的測(cè)試方法及系統(tǒng)
- 一種工廠(chǎng)測(cè)試方法、系統(tǒng)、測(cè)試終端及被測(cè)試終端
- 一種軟件測(cè)試的方法、裝置及電子設(shè)備
- 測(cè)試方法、測(cè)試裝置、測(cè)試設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)
- 測(cè)試裝置及測(cè)試系統(tǒng)
- 測(cè)試方法及測(cè)試系統(tǒng)
- 一種數(shù)控切削指令運(yùn)行軟件測(cè)試系統(tǒng)及方法
- 一種數(shù)據(jù)庫(kù)讀寫(xiě)分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測(cè)試終端的測(cè)試方法
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- 系統(tǒng)升級(jí)方法及裝置
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